| 講演名 | 1997/1/22 金属被覆FEAの電子放出特性 澤 将裕, 大谷 進, 森 寛伸, 内池 平樹, |
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| 抄録(和) | 本研究では、n型シリコンを用いて電界放出アレイを作製し、その電界集中因子βの経時変化及び放出電流特性を測定した。さらに、W及びCrで被覆された電界放出アレイを作製し、同様の測定を行った。Wを被覆することにより、電界集中因子βの経時変化の値が安定することを確認した。また、金属被覆することにより、低電圧での電子放出を確認した。 |
| 抄録(英) | In the present paper, we fabricated the Field Emitter Arrays made of n-type silicon wafers, and those covered with W and Cr. We measured the aging characteristics of field enhancement factor, β, and I-V characteristics. The aging characteristics of field enhancement factor, β, of Si-FEA is decrease with time, and that of W-FEA is stable. The threshould voltage of FEAs covered with metals are lower than that of Si-FEA. |
| キーワード(和) | 電界放出型ディスプレイ / 金属被覆電界放出アレイ / 自然酸化膜 / トンネル効果 |
| キーワード(英) | Field Emission Display / FEA covered with Metal / the native oxide layer / tunneling effect |
| 資料番号 | EID96-76,ED96-154,SDM96-180 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 1997/1/22(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 金属被覆FEAの電子放出特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Field Emission Characteristics of Field Emitter Arrays coated with metals |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電界放出型ディスプレイ / Field Emission Display |
| キーワード(2)（和/英） | 金属被覆電界放出アレイ / FEA covered with Metal |
| キーワード(3)（和/英） | 自然酸化膜 / the native oxide layer |
| キーワード(4)（和/英） | トンネル効果 / tunneling effect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 澤 将裕 / M. Sawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engeneering, Hiroshima University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大谷 進 / S. Otani |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engeneering, Hiroshima University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 森 寛伸 / H. Mori |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engeneering, Hiroshima University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 内池 平樹 / H. Uchiike |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 広島大学工学部 Faculty of Engeneering, Hiroshima University |
| 発表年月日 | 1997/1/22 |
| 資料番号 | EID96-76,ED96-154,SDM96-180 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 454 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |