講演名 | 1997/2/14 Improvement of Electron Emission Stability of Mo-tip FEAs by DLC Coating , |
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抄録(和) | |
抄録(英) | We have studied the improvement of electron emission by diamond-like carbon (DLC) coating on Mo field emitter arrays by a layer-by-layer technique using plasma enhanced chemical vapor deposition. The turn-on voltage was lowered from 55V to 30V by 20 nm DLC coating and maximum emission current was increased from 166μA to 831μA. Also the gate voltage required to get the anode current of 0.1(μA/emitter) decreases from 77V to 48V. Furthermore, the emission current from DLC coated Mo FEAs is more stable than that of non-coated Mo FEAs. |
キーワード(和) | |
キーワード(英) | FEAs / Emission stability / DLC / Layer-by-layer technique / FED |
資料番号 | EID96-144 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | EID |
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開催期間 | 1997/2/14(から1日開催) |
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委員長氏名(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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本文の言語 | ENG |
タイトル(和) | |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Improvement of Electron Emission Stability of Mo-tip FEAs by DLC Coating |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | / FEAs |
第 1 著者 氏名(和/英) | / Jae Hoon Jung |
第 1 著者 所属(和/英) | Division of Electronics and Information Technology |
発表年月日 | 1997/2/14 |
資料番号 | EID96-144 |
巻番号(vol) | vol.96 |
号番号(no) | 518 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |