| 講演名 | 1997/2/13 NUMERICAL SIMULATION ON A NOVEL MIXED DUAL BEAM LASER CRYSTALLIZATION METHOD , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | We ropose a novel mixed dual bean laser crystallization method, where two different pulse lasers with different wavelength successively irrdiate on Si fi1m. Thermodynamic computer model of 1aser annealing is used to analyze the solidification characteristics of Si film annealed by the novel method. The simulation results demonstrate that the novel method is a promising one to reduce solidification velocity effectively. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | mixed dual beam / laser annealing / sodification velocity / numerical simulation |
| 資料番号 | EID96-119 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 1997/2/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | NUMERICAL SIMULATION ON A NOVEL MIXED DUAL BEAM LASER CRYSTALLIZATION METHOD |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / mixed dual beam |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Chunrya Wu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Institute of photoelectronics, Nankai Univ. |
| 発表年月日 | 1997/2/13 |
| 資料番号 | EID96-119 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 517 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | |