| 講演名 | 2001/6/29 PLZT薄膜導波路技術の光スイッチへの応用 梨本 恵一, 森山 弘朗, 中村 滋年, 渡部 雅夫, 森川 尚, 長ヶ部 英資, 羽賀 浩一, |
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| 抄録(和) | 固相エピタキシャル成長によってNbドープSrTiO_3半導体基板上へ形成した低損失(Pb, La)(Zr, Ti)O_3(PLZT)薄膜光導波路を用い、光スイッチを検討した。PZT(52/48)を導波路層、PLZT(9/65/35)を基板吸収を防ぐバッファ層とし、チャンネル導波路幅を5μm、S字チャンネルの曲率を8mm、Y分岐長を3mm、電極長を3mmとした。試作した1×2デジタル型光スイッチは、10Vにて-22dBのクロストークを示し、応答速度としては20nsが得られた。 |
| 抄録(英) | Switches using(pB, La)(Zr, Ti)O_3 waveguides on Nb-doped SrTiO_3 semiconductor substrates were fabricated. PZT(52/48)and PLZT(9/65/35)were utilized for a waveguide layer and a buffer layer, respectively. The digital switches consisted of 5 μm-wide channel waveguides, S-bends with 8 mm bending radius, 3 mm-long Y branches, and 3 mm-long electrodes. A fabricated 1×2 switch showed crosstalk of-22 dB and response of 20 ns at a voltage as low as 10 V. |
| キーワード(和) | 光スイッチ / デジタル / 低電圧駆動 / PLZT / 光導波路 / 固相エピタキシ |
| キーワード(英) | Optical Switch / Digital / Low-voltage / PLZt / Optical waveguide / Solid-phase Epitaxy |
| 資料番号 | OPE2001-43,LQE2001-42 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2001/6/29(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | PLZT薄膜導波路技術の光スイッチへの応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | PLZT Electro-Optic Waveguides and Switches |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スイッチ / Optical Switch |
| キーワード(2)（和/英） | デジタル / Digital |
| キーワード(3)（和/英） | 低電圧駆動 / Low-voltage |
| キーワード(4)（和/英） | PLZT / PLZt |
| キーワード(5)（和/英） | 光導波路 / Optical waveguide |
| キーワード(6)（和/英） | 固相エピタキシ / Solid-phase Epitaxy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 梨本 恵一 / Keiichi Nashimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森山 弘朗 / Hiroaki Moriyama |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中村 滋年 / Shigetoshi Nakamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 渡部 雅夫 / Masao Watanabe |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 森川 尚 / Takashi Morikawa |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 長ヶ部 英資 / Eisuke Osakabe |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 羽賀 浩一 / Koichi Haga |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 富士ゼロックスライトウェーブテクノロジーズ(株) Fuji Xerox Lightwave Technologies Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2001/6/29 |
| 資料番号 | OPE2001-43,LQE2001-42 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 174 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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