| 講演名 | 2000/6/30 OPE2000-32 / LQE2000-26 有機溶液を用いた透明材料のレーザーアブレーション 王 俊, 新納 弘之, 佐藤 正健, 矢部 明, |
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| 抄録(和) | 石英材料に代表される透明材料の微細加工は、ナノ秒パルスの紫外レーザーを用いたプロセスでは、紫外領域に吸収帯がないために一般に困難であった。我々は、紫外領域に大きな吸収を有する液体層を加工対象物に接触させた状態で、背面からナノ秒紫外レーザーを照射するレーザーアブレーションを応用し、透明材料の微細加工に成功した。本稿では、石英材料の加工特性ならびに機構について報告する。 |
| 抄録(英) | Transparent materials such as quartz materials are difficult to fabricate by conventional laser processing using a nanosecond UV laser because these materials have no significant absorption at the laser wavelength. We report a novel micron-size fabrication of the materials by laser ablation technique using a organic liquid layer attached on the backside of the target materials. We also discussed the mechanism for the micro-fabrication in terms of a heating process and a chemical reaction process. |
| キーワード(和) | レーザーアブレーション / 石英材料 / 微細加工 / ピレン溶液 / ナノ秒紫外レーザー |
| キーワード(英) | Laser ablation / Quartz material / Microfabrication / Pyrene solution / nanosecond-pulsed UV laser |
| 資料番号 | OPE2000-32,LQE2000-26 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 2000/6/30(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | OPE2000-32 / LQE2000-26 有機溶液を用いた透明材料のレーザーアブレーション |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Laser ablation of an organic solution for micro-fabrication of transparent materials |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザーアブレーション / Laser ablation |
| キーワード(2)（和/英） | 石英材料 / Quartz material |
| キーワード(3)（和/英） | 微細加工 / Microfabrication |
| キーワード(4)（和/英） | ピレン溶液 / Pyrene solution |
| キーワード(5)（和/英） | ナノ秒紫外レーザー / nanosecond-pulsed UV laser |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 王 俊 / Jun Wang |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 物質工学工業技術研究所COE特別研究室 National Institute of Materials and Chemical Research(NIMC), COE Lab. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 新納 弘之 / Hiroyuki Niino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 物質工学工業技術研究所COE特別研究室 National Institute of Materials and Chemical Research(NIMC), COE Lab. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐藤 正健 / Tadatake Sato |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 物質工学工業技術研究所COE特別研究室 National Institute of Materials and Chemical Research(NIMC), COE Lab. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 矢部 明 / Akira Yabe |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 物質工学工業技術研究所COE特別研究室 National Institute of Materials and Chemical Research(NIMC), COE Lab. |
| 発表年月日 | 2000/6/30 |
| 資料番号 | OPE2000-32,LQE2000-26 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 170 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |