| 講演名 | 1998/8/27 ポリイミド導波路付半導体レーザ 日暮 栄治, 鍔元 美恵子, 澤田 廉士, |
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| 抄録(和) | GaAs基板上にポリイミド導波路を一体化した半導体レーザを作製し、光ビームの制御(分割、コリメート)を試みた。ビームの分割には、ポリイミド導波路に溝構造のハーフミラーを作製した。溝への入射角が臨界角以下の場合、溝幅が最適なところでハーフミラーが得られた。また、導波路内で平行ビームを得るために、放物型の内部全反射ミラーを有するポリイミド導波路を作製した。遠視野像(FFP)は1.8°が得られた。これらの素子は、半導体レーザを内蔵した集積型マイクロセンサへ応用できる。 |
| 抄録(英) | We developed a laser diode(LD)integrated with a polyimide waveguide on the same GaAs substrate to control(divide or collimate)the emitted light beam To divide the beam from the LD we fabricated a groove to act as a half-mirror in the polyimide waveguide. When the incident angle to the groove surface was a little below the critical angle at a suitable groove width, we obtained the half mirror effect. Additionally, to collimate the beam in the horizontal direction inside the polyimide waveguide we fabricated a parabolic-shaped total internal reflection mirror in the polyimide waveguide. The far field pattern(FFP)was measured to be 1.8°. |
| キーワード(和) | 半導体レーザ / ポリイミド / ハーフミラー / コリメーター / マイクロセンサ |
| キーワード(英) | laser diode / polyimide / half-mirror / collimator / micro-sensor |
| 資料番号 | EMD98-41, CPM98-89, OPE98-62, LQE98-56 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1998/8/27(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ポリイミド導波路付半導体レーザ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Laser diode integrated with polyimide waveguide |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 半導体レーザ / laser diode |
| キーワード(2)（和/英） | ポリイミド / polyimide |
| キーワード(3)（和/英） | ハーフミラー / half-mirror |
| キーワード(4)（和/英） | コリメーター / collimator |
| キーワード(5)（和/英） | マイクロセンサ / micro-sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 日暮 栄治 / Eiji Higurashi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鍔元 美恵子 / Mieko Tsubamoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTTアドバンステクノロジ NTT Advanced Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 澤田 廉士 / Renshi Sawada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Laboratories |
| 発表年月日 | 1998/8/27 |
| 資料番号 | EMD98-41, CPM98-89, OPE98-62, LQE98-56 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 255 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |