| 講演名 | 1998/6/16 原子層制御による『水の窓』域軟X線多層膜ミラーの開発 熊谷 寛, 松山 浩子, 飯村 康紘, 緑川 克美, 小原 實, |
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| 抄録(和) | 原子層オーダーで制御されたアモルファス多層膜や、半導体、磁性体薄膜で用いられてきた超格子構造が、軟X線光学分野で重要になってきた。「水の窓」域では表面粗さによる散乱損失が極めて深刻な問題になるためである。このような多層膜構造を作製する新しいアプローチとして、原子層制御による堆積を試みた。本講演では、原子層堆積法、原子層成長法といった原子層制御による多層膜の作製、反射率特性について述べる。 |
| 抄録(英) | A new approach to the fabrication of multilayer mirrors on an atomic scale at soft X-ray wavelengths is desired to overcome serious problems regarding scattering loss at the rough surface and interface of the multilayer. Here, recent progress regarding novel approaches utilizing atomic layer deposition and atomic layer epitaxy to the fabrication of multilayer structures for soft X-ray wavelengths is detailed. These novel approaches are expected to solve the above-mentioned problems and take the place of conventional sputtering methods because of their control performance of the surface on an atomic scale through their self-limiting functions. |
| キーワード(和) | 軟X線ミラー / 水の窓 / 原子層堆積 / 原子層成長 |
| キーワード(英) | Soft X-ray mirror / water window / atomic layer deposition / atomic layer epitaxy |
| 資料番号 | LQE98-19 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1998/6/16(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 原子層制御による『水の窓』域軟X線多層膜ミラーの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Soft X-Ray Multilayer Mirrors for "Water-Window"Wavelengths through Atomic Layer Control |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 軟X線ミラー / Soft X-ray mirror |
| キーワード(2)（和/英） | 水の窓 / water window |
| キーワード(3)（和/英） | 原子層堆積 / atomic layer deposition |
| キーワード(4)（和/英） | 原子層成長 / atomic layer epitaxy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 熊谷 寛 / Hiroshi Kumagai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 理化学研究所レーザー物理工学研究室 Laser Technology Lab., The Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松山 浩子 / Hiroko Matsuyama |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 慶応義塾大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Keio University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 飯村 康紘 / Yasuhiro Iimura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 理化学研究所レーザー物理工学研究室 Laser Technology Lab., The Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 緑川 克美 / Katsumi Midorikawa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 理化学研究所レーザー物理工学研究室 Laser Technology Lab., The Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小原 實 / Minoru Obara |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 慶応義塾大学理工学部 Faculty of Science and Technology, Keio University |
| 発表年月日 | 1998/6/16 |
| 資料番号 | LQE98-19 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 109 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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