講演名 | 1998/2/17 GaNナノコラムの作製と量子ディスク構造への応用 吉澤 正樹, 菊地 昭彦, 岸野 克己, |
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抄録(和) | RF-MBE法を用いて柱状GaN微細構造(GaNナノコラム)を(0001)サファイア基板上に自己形成した。GaNナノコラムの自己形成のためには、AINバッファの積層時間とGaN成長時のV/III比の制御が重要であることがわかった。V/III比を制御することにより得られたGaNナノコラムの最小直径は41nmであった。この自己形成技術を利用して平均直径46nmのGaNナノコラムの上部に、10周期のGaN (6nm)/Al_<0.18>Ga_<0.82>N (9nm)多重量子ディスク構造を作製した。量子サイズ効果によるPLピークの短波長化が確認され、GaN量子ディスクが形成されたと考えられる。 |
抄録(英) | GaN nanostructures (GaN nano-column) were self-organized on (0001 Al_2O_3 by rf-radical source molecular beam epitaxy (RF-MBE). An averaged diameter of GaN nano-column was minimized to 41nm by the control of V/III supply ratio. Self-organization process of GaN nano-column was applied for the fabrication of GaN/Al_<0.18>Ga_<0.82>N multi quantum disk (MQD). The GaN nano-columns with an average diameter of 46nm was fabricated, in which the 10pair of GaN (6nm)/Al_<0.18>Ga_<0.82>N (9nm) multi-layer structure was built-in to form quantum disks. The blue-shift in a photoluminescence (PL) peak wavelength at room temperature was observed for the MQD sample, probably due to the quantum-size effect. |
キーワード(和) | GaNナノコラム / 自己形成法 / RF-MBE / GaN量子ディスク / 多重量子ディスク |
キーワード(英) | GaN nano-column / Self-organization / RF-MBE / GaN quantum disk / Multi Quantum Disks |
資料番号 | |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | LQE |
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開催期間 | 1998/2/17(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | GaNナノコラムの作製と量子ディスク構造への応用 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Fabrication of GaN nano-columns and application for GaN quantum disk |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | GaNナノコラム / GaN nano-column |
キーワード(2)(和/英) | 自己形成法 / Self-organization |
キーワード(3)(和/英) | RF-MBE / RF-MBE |
キーワード(4)(和/英) | GaN量子ディスク / GaN quantum disk |
キーワード(5)(和/英) | 多重量子ディスク / Multi Quantum Disks |
第 1 著者 氏名(和/英) | 吉澤 正樹 / M. Yoshizawa |
第 1 著者 所属(和/英) | 上智大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻 Department of Electrical and Electronics Engineering, Sophia University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 菊地 昭彦 / A. Kikuchi |
第 2 著者 所属(和/英) | 上智大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻 Department of Electrical and Electronics Engineering, Sophia University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 岸野 克己 / K. Kishino |
第 3 著者 所属(和/英) | 上智大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻 Department of Electrical and Electronics Engineering, Sophia University |
発表年月日 | 1998/2/17 |
資料番号 | |
巻番号(vol) | vol.97 |
号番号(no) | 543 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |