| 講演名 | 1997/8/21 石英PLCカプラの開発 松村 文雄, 松本 浩, 中仙道 和之, 田中 啓之, 藤井 陽一, |
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| 抄録(和) | TEOSプラズマCVD法およびイオン化蒸着法(イオンプレーティング, イオンビームアシスト)を用いた低温SiO2成膜法とRIEエッチング法を用いて低速光加入者用石英PLC(平面光回路)カプラの設計・試作を実施しているが、光導波路コア部の埋め込み性の改善・鏡面切断工法および光導波路チップと光ファイバアレイの固定にUV接着固定法を用いることにより高性能化と低コスト化の実現の可能性を確認したので報告する。従来、本石英PLCカプラの光合波分波回路は、マッハツェンダ型の光導波路を利用した方式が多く用いられている。しかし、各入出力ポート間の光アイソレーションの値が比較的低く使用可能な波長帯域が制限され易いとという問題がある。今回我々は、光フィルタを光導波路に埋め込み合波分波回路を構成する方式で石英PLCカプラを設計し、イオン化蒸着法によりSiO2の成膜の検討を行うと同時に研磨レスの鏡面切断により石英PLCチップの外形加工を行いUV硬化接着剤により石英PLCチップと光ファイバアレイを固定して試作した。これらの手法により石英PLCカプラが作製できることを確認し、ITU規格波長範囲において挿入損失2dB以下, アイソレーション50dB以上の実現の可能性を得た。 |
| 抄録(英) | We report the trial production of silica based PLC(planer Lightwave circuit) coupler for low speed subscriber transmission system, which is produced by low temperature processes(plasma CVD, Ion plating and Ion Beam assist method) and RIE method. The WDM(Wavelength division Multiplex) circuit with MZ(Mach-Zender) type Optical waveguide was used for the structures of old type PLC couplers. This type couplers have relative low crosstalk characteristics and low wavelength bandwidth for WDM circuit. We designed newtype silica based PLC coupler with vuried optical filters in optical waveguide, which is useful for WDM circuit, and tried the production of this coupler by Ion plating method and Ion Beam assist method, mirror-faced cutting method, without polishing, and UV adhesive method. This trial production showed that this production process and this WDM circuit are both useful for silica-based PLC couplers. |
| キーワード(和) | 石英PLCカプラ / 光合波分波回路 / 光フィルタ / CVD / RIE / イオンプレーティング / イオンビームアシスト |
| キーワード(英) | Silica based Planer Ligthwave Circuit(PLC) Coupler / Wavelength Division Multiplex(WDM) / Optical Filter / CVD / RIE / Ion Plating / Ion Beam Assist |
| 資料番号 | LQE97-50 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1997/8/21(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 石英PLCカプラの開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Silica-based PLC Coupler |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 石英PLCカプラ / Silica based Planer Ligthwave Circuit(PLC) Coupler |
| キーワード(2)（和/英） | 光合波分波回路 / Wavelength Division Multiplex(WDM) |
| キーワード(3)（和/英） | 光フィルタ / Optical Filter |
| キーワード(4)（和/英） | CVD / CVD |
| キーワード(5)（和/英） | RIE / RIE |
| キーワード(6)（和/英） | イオンプレーティング / Ion Plating |
| キーワード(7)（和/英） | イオンビームアシスト / Ion Beam Assist |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松村 文雄 / F. Matsumura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, TOYO Communication Equipment Co., Ltd |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松本 浩 / H. Matumoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, TOYO Communication Equipment Co., Ltd |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中仙道 和之 / K. Nakasendou |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, TOYO Communication Equipment Co., Ltd |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田中 啓之 / K. Tanaka |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東洋通信機株式会社中央研究所 Central Research Laboratories, TOYO Communication Equipment Co., Ltd |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 藤井 陽一 / Y. Fujii |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本大学理工学部 College of Science and Technology, Nihon University |
| 発表年月日 | 1997/8/21 |
| 資料番号 | LQE97-50 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 237 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |