| 講演名 | 1997/8/21 Si/SiO_2系サブミクロン3次元フォトニック結晶の作製、評価と伝搬特性の解析 川上 彰二郎, 花泉 修, 佐藤 尚, 大寺 康夫, 川嶋 貴之, |
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| 抄録(和) | rfバイアス・スパッタリング法を用いて、SiとSiO_2からなるサブミクロン周期3次元構造体を作製し、その光学特性を評価した。実験の結果、単純な1次元の周期構造とは明らかに異なる透過特性が観測された。また測定したストップパンドは1.71μm～2.06μmの範囲であり、近赤外波長域に入るものであった。またいくつかの代表的な方向の伝搬特性を、FDTD(Finite-Difference Time-Domain)法により解析し、同様の近赤外波長域にストップバンドが現れることを明らかにした。 |
| 抄録(英) | Sub-micrometer 3D periodic structures that consist of Si/SiO_2 rf-sputtered films are fabricated and optically evaluated. Fabricated 3D structure exhibited a photonic stopband ranged from λ=1.71μm to 2.06μm, which is clearly different from that of 1D periodic structures. We also demonstrate a preliminal analysis on the transmission characteristics of the 3D structures using FDTD(Finite-Difference Time-Domain) method. |
| キーワード(和) | 周期構造 / フォトニックバンドギャップ / フォトニック結晶 / スパッタエッチング / FDTD法 |
| キーワード(英) | periodic structure / photonic bandgap / photonic crystal / sputter-etching / FDTD method |
| 資料番号 | LQE97-48 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1997/8/21(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Si/SiO_2系サブミクロン3次元フォトニック結晶の作製、評価と伝搬特性の解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication, Evaluation, and Analysis of Si/SiO_2 Sub-Micrometer 3D Photonic Crystals |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 周期構造 / periodic structure |
| キーワード(2)（和/英） | フォトニックバンドギャップ / photonic bandgap |
| キーワード(3)（和/英） | フォトニック結晶 / photonic crystal |
| キーワード(4)（和/英） | スパッタエッチング / sputter-etching |
| キーワード(5)（和/英） | FDTD法 / FDTD method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 川上 彰二郎 / Shojiro KAWAKAMI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 花泉 修 / Osamu HANAIZUMI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐藤 尚 / Takashi SATO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 大寺 康夫 / Yasuo OHTERA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 川嶋 貴之 / Takayuki KAWASHIMA |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1997/8/21 |
| 資料番号 | LQE97-48 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 237 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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