| 講演名 | 1997/8/21 ダイレクトボンディングを用いた集積形光アイソレータの提案 横井 秀樹, 水本 哲弥, |
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| 抄録(和) | 磁気光学材料である磁性ガーネットは近赤外領域で低損失であり、光アイソレータ等の非相反素子に利用される。筆者らは、半導体レーザと光アイソレータの集積化を目指して、InPとガーネットのダイレクトボンディングについて研究を進めている。ダイレクトボンディングによる半導体とガーネットの集積化の現状と、ダイレクトボンディングを用いた新しい光アイソレータの構成法について述べる。 |
| 抄録(英) | Magnetic garnets, which are magnetooptic materials and almost transparent in the near infrared region, are utilized to compose optical nonreciprocal devices. Wafer direct bonding between InP and garnets has been investigated for the aim of integrating a semiconductor laser diode with an optical isolator. Some experimental results of the direct bonding between InP and garnets are described. A new configuration of integrated optical isolator which makes full use of the direct bonding technique is also proposed. |
| キーワード(和) | 光アイソレータ / ダイレクトボンディング / 半導体レーザ / ガーネット |
| キーワード(英) | optical isolator / direct bonding / semiconductor laser diode / garnet |
| 資料番号 | LQE97-45 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1997/8/21(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ダイレクトボンディングを用いた集積形光アイソレータの提案 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Integrated optical isolator employing wafer direct bonding technique |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光アイソレータ / optical isolator |
| キーワード(2)（和/英） | ダイレクトボンディング / direct bonding |
| キーワード(3)（和/英） | 半導体レーザ / semiconductor laser diode |
| キーワード(4)（和/英） | ガーネット / garnet |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 横井 秀樹 / Hideki YOKOI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学工学部電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 水本 哲弥 / Tetsuya MIZUMOTO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学工学部電子物理工学科 Department of Physical Electronics, Faculty of Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1997/8/21 |
| 資料番号 | LQE97-45 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 237 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |