| 講演名 | 1997/8/21 マイクロマシン技術を応用した光スイッチの試作 佐藤 和恭, 堀野 正也, 明石 照久, 会田 泰夫, 小林 大, |
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| 抄録(和) | 機械式の光スイッチは、挿入損失が小さく、波長依存性がなく、さらにスイッチング時のみ電力を消費する自己保持機能をもつなどの優れた特性を有しているため、光通信ネットワーク内に障害が発生したときの復旧用として最適なデバイスと考えられている。本研究では、片持ち梁状光導波路を電磁アクチュエータで駆動する新しいタイプの機械式光スイッチを考案し、その実現に必要な要素技術として、片持ち梁状の光導波路の形成法と自己保持型マイクロ電磁アクチュエータに関する検討を行ったのでその結果について報告する。 |
| 抄録(英) | The mechanical optical switch is considered to be an appropriate device for changing the route of light transmission at the accident of the optical communication network, because it has low insertion loss, wavelength independence and latching function. A new type mechanical optical switch composed of cantilever-like optical wave guides and micro electromagnetic actuators is proposed. This paper describes the experimental results about the process to fabricate the cantilever-like optical wave guides and the latch-type micro electromagnetic actuators. |
| キーワード(和) | 光スイッチ / 光導波路 / マイクロマシン / 犠牲層 / 電磁アクチュエータ |
| キーワード(英) | optical switch / optical wave guide / micro machine / sacrifice layer / electromagnetic actuator |
| 資料番号 | LQE97-43 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1997/8/21(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | マイクロマシン技術を応用した光スイッチの試作 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Prototype of optical switch by micro machine technologies |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光スイッチ / optical switch |
| キーワード(2)（和/英） | 光導波路 / optical wave guide |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロマシン / micro machine |
| キーワード(4)（和/英） | 犠牲層 / sacrifice layer |
| キーワード(5)（和/英） | 電磁アクチュエータ / electromagnetic actuator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 佐藤 和恭 / Kazutaka Sato |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日立製作所機械研究所 Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 堀野 正也 / Masaya Horino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日立製作所機械研究所 Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 明石 照久 / Teruhisa Akashi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日立製作所機械研究所 Mechanical Engineering Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 会田 泰夫 / Yasuo Aida |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日立製作所情報通信事業部 Telecommunications Division, Hitachi Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小林 大 / Dai Kobayashi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日立電線オプトロシステム研究所 Optoelectronic System Laboratory, Hitachi Cable, Ltd. |
| 発表年月日 | 1997/8/21 |
| 資料番号 | LQE97-43 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 237 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |