| 講演名 | 1997/7/4 多チャンネル導波路型受光素子アレイ 西片 一昭, 入野 聡, 野村 剛彦, 平岩 浩二, 岩井 則広, 山中 信光, 岩瀬 正幸, 粕川 秋彦, |
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| 抄録(和) | 導波路型PIN受光素子は, 高速, 高感度, 低暗電流などの数々の特徴があるが, 導波路を内包しているために光の漏れが少なくクロストークが小さい, また実装が容易であるという特徴のため, 多チャンネルのアレイ型受光素子として期待されている. 本研究では, 導波路型PIN受光素子の8チャンネルアレイを試作し, 感度, 暗電流, 帯域, クロストークなどを調べた. また更なる多チャンネルを目指して, 60chのアレイを試作して評価した. 試作した受光アレイは1.3μm光に対して感度は分散シフトファイバーに対して0.98A/W, クロストークは-75dBc以下, 暗電流は300pA以下(逆バイアス3V印加時)であった. また4500時間までの信頼性試験も良好であった. |
| 抄録(英) | Long-Wavelength PIN waveguide photodiodes have some features, such as high speed, high sensitivity, low dark current. Photodiodes-array made of these waveguide photodiodes are promising because they have some advantages that are easy-fabrication and low cross-talk because of low light leak in their waveguides. In this work, we fabricated waveguide-photodiodes array with 8channels and with 60 channels. Experiment results are given, showing high sensitivity of 0.98A/W average, dark current less than 300pA, and cross talk less than -75dBc. We have also good reliability up to 4500 hours. |
| キーワード(和) | 導波路型PIN受光素子 / 多チャンネル受光素子アレイ / クロストーク |
| キーワード(英) | Waveguide PIN photodiodes / Photodiodes array with many channels / Cross-talk |
| 資料番号 | LQE97-38 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1997/7/4(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 多チャンネル導波路型受光素子アレイ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Waveguide Photodiodes Array with many channels |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 導波路型PIN受光素子 / Waveguide PIN photodiodes |
| キーワード(2)（和/英） | 多チャンネル受光素子アレイ / Photodiodes array with many channels |
| キーワード(3)（和/英） | クロストーク / Cross-talk |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 西片 一昭 / K. Nishikata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 入野 聡 / S. Irino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所:豊橋技術科学大学工学部 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 野村 剛彦 / T. Nomura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 平岩 浩二 / K. Hiraiwa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 岩井 則広 / N. Iwai |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 山中 信光 / N. Yamanaka |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 岩瀬 正幸 / M. Iwase |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)光技術研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 粕川 秋彦 / A. Kasukawa |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 古河電工(株)横浜研究所 Yokoham R&D Laboratories, The Furukawa Electric Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 1997/7/4 |
| 資料番号 | LQE97-38 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 153 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |