| 講演名 | 1997/7/4 Si/SiO_23次元サブミクロン周期構造 : 作製と応用について 川上 彰二郎, 榊 裕之, 白石 和男, 花泉 修, 佐藤 尚, 大寺 康夫, |
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| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 2種類の透明媒質からなるサブミクロン周期3次元構造をはじめて作製した. この構造の持つ周期性あるいはフォトニックバンドギャップ特性を利用することにより, これまでにない新しい機能を持った種々の光デバイスを実現することが可能である. これについて展望し, あわせてデバイス応用のプロセス技術において確立すべき作製技術および克服・解明すべき問題点について述べる. そのうちのいくつかについては, 解決の糸口となる要素技術の可能性について説明する. |
| 抄録(英) | We report successful fabrication of 3D sub-micrometer periodic structures composed of two transparent materials for the first time. Various novel optical devices can be realized by using periodicity or photonic bandgap properties of this structure. However, new fabrication technologies must be established and some difficulties and problems need to be overcome. Possibility of some elementary technologies to create new photonic crystal devices are presented. |
| キーワード(和) | 3次元周期構造 / フォトニックバンドギャップ / スパッタエッチング / フォトニック結晶デバイス |
| キーワード(英) | 3D periodic structure / photonic bandgap / sputter-etching / photonic crystal device |
| 資料番号 | LQE97-35 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE |
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| 開催期間 | 1997/7/4(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Lasers and Quantum Electronics (LQE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Si/SiO_23次元サブミクロン周期構造 : 作製と応用について |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Si/SiO_2 3D Sub-Micrometer Periodic Structures : Fabrication and Application |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 3次元周期構造 / 3D periodic structure |
| キーワード(2)（和/英） | フォトニックバンドギャップ / photonic bandgap |
| キーワード(3)（和/英） | スパッタエッチング / sputter-etching |
| キーワード(4)（和/英） | フォトニック結晶デバイス / photonic crystal device |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 川上 彰二郎 / Shojiro KAWAKAMI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 榊 裕之 / Hiroyuki SAKAKI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学先端科学技術研究センター Research Center for Advanced Science and Technology, University of Tokyo |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 白石 和男 / Kazuo SHIRAISHI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学工学部 Faculty of Engineering, Utsunomiya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 花泉 修 / Osamu HANAIZUMI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 佐藤 尚 / Takashi SATO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 大寺 康夫 / Yasuo OHTERA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北大学電気通信研究所 Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1997/7/4 |
| 資料番号 | LQE97-35 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 153 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |