| 講演名 | 2000/1/18 導波路幅が不均一な直線光導波路における伝搬特性の比屈折率差依存性 割貝 忠司, 黒川 弘章, 黒田 道子, 浅間 邦彦, |
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| 抄録(和) | 光導波路の作製プロセスとして、RIE法、UV露光法など、種々の方法が考えられているが、光導波路では本来平面になっているはずの光導波路側面の形状にプロセスの過程による凹凸が生じ、損失の原因となる事が予想される。そこで、光導波路側面の状態により光の伝搬がどのように影響するかについて数値計算を通して考察するために、ランダム関数を用いて導波路側面の不均一さをモデル化し、マルチモードの光導波路における側面の不均一さに伴う光の伝搬特性、特にコア、クラッドの比屈折率差依存性についてビーム伝搬法(BPM)により解析を行った。 |
| 抄録(英) | In this study we analyzed optical propagation properties due to the roughness of side walls in waveguides (core), which is resulted in the patterning process such as RIE, UV curing and so on. In the simulation we evaluated the increase in loss due to the side-wall roughness, where the width of waveguides varied sinusoidally and randomly in the models. As a parameter, we pay attention to relative index difference between core and clad. The Beam Propagation Method (FD-BPM) with Pade approximation is used in the simulation. |
| キーワード(和) | RIE法 / UV露光法 / 比屈折率差依存性 / ビーム伝搬法 |
| キーワード(英) | RIE / UV cure / relative index difference / beam propagation method |
| 資料番号 | PS99-74,OPE99-122,LQE99-113 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2000/1/18(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 導波路幅が不均一な直線光導波路における伝搬特性の比屈折率差依存性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effects of Roughness in Side Walls of Optical Waveguides on Propagation Loss in Relation to Relative Index Difference |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | RIE法 / RIE |
| キーワード(2)（和/英） | UV露光法 / UV cure |
| キーワード(3)（和/英） | 比屈折率差依存性 / relative index difference |
| キーワード(4)（和/英） | ビーム伝搬法 / beam propagation method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 割貝 忠司 / Tadashi Warikai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工科大学 工学部 電子工学科 School of Engineering, Tokyo University of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 黒川 弘章 / Hiroaki Kurokawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工科大学 工学部 電子工学科 School of Engineering, Tokyo University of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 黒田 道子 / Michiko Kuroda |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工科大学 工学部 情報通信工学科 School of Engineering, Tokyo University of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 浅間 邦彦 / Kunihiko Asama |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京工科大学 工学部 電子工学科 School of Engineering, Tokyo University of Technology |
| 発表年月日 | 2000/1/18 |
| 資料番号 | PS99-74,OPE99-122,LQE99-113 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 543 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |