| 講演名 | 1994/9/16 光ハイブリッド集積のためのV溝付きSi基板の平坦化 田淵 晴彦, 和田 修, 中島 啓幾, |
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| 抄録(和) | 光導波路を有するSiプラットフォーム上に光ファイバと光素子(半導体レーザおよびフォトダイオード)をハイブリッド集積実装するための新しい要素技術として、ファイバガイド用V溝付きSi共通基板の平坦化、モードサイズ変換導波路付きレーザ、厚い吸収層を有する横型フォトダイオードを提案した。Siの直接張り合わせ技術を用いてV溝付きSi基板の平坦化を行うとともに、試作した横型フォトダイオードを実装したファイバ,フォトダイオードモジュールを作成することにより、提案した技術の有用性を示した。 |
| 抄録(英) | We performed an high frequency electrical circuit on the Planar- Lightwave-Circuits platform(PLC-platform)which contained a silica planar lightwave circuit and a terraced region for laser diode(LD) optical device assembly.In this electrical circuit,coplanar waveguides(CPW)were prepared on the thick-silica-buffer, silicon substrate.This structure reduced the transmission loss drastically because the loss tangent of dielectric constants of silica is much smaller than that of silicon.This PLC-platform with CPW enable d the 2.5-Gb/s NRZ LD module where LD was assembled on the platform. This result exhibits that opto-electronic hybrid integration was performed using the PLC-platform which contains the PLC region,the silicon terrace,and the electrical circuit. |
| キーワード(和) | 光導波路 / ハイブリッド / Siテラス / コプレーナ線路 |
| キーワード(英) | optical waveguide / hybrid / Si terrace / coplanar waveguide |
| 資料番号 | OPE94-62 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 1994/9/16(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光ハイブリッド集積のためのV溝付きSi基板の平坦化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Planarization of a V-Grooved Si Substrate for Optical Hybrid Integration |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光導波路 / optical waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | ハイブリッド / hybrid |
| キーワード(3)（和/英） | Siテラス / Si terrace |
| キーワード(4)（和/英） | コプレーナ線路 / coplanar waveguide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田淵 晴彦 / Haruhiko Tabuchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富士通研究所 Fujitsu Laboratories LTD. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 和田 修 / Osamu Wada |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富士通研究所 Fujitsu Laboratories LTD. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中島 啓幾 / Hirochika Nakajima |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富士通研究所 Fujitsu Laboratories LTD. |
| 発表年月日 | 1994/9/16 |
| 資料番号 | OPE94-62 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 237 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |