| 講演名 | 1997/8/22 PLCプラットフォームへのマーカによる無調芯高均一光結合素子実装 田中 一弘, 佐々木 誠美, 山本 直樹, 中川 剛二, 乗松 正明, 小林 宏彦, 三浦 和則, 矢野 光博, |
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| 抄録(和) | マーカ位置合わせ法によりPLCプラットフォームへのLD・PD実装を検討した。LDに対しては横方向ずれ1μm以下, 回転ずれ0.4°以下の高精度実装とテーパ導波路付きLD実装において平均結合損失3.8dB, ばらつぎ2dB以内の高均一な光結合特性が得られた。PDに対して面取り入射型PDを適用することにより大きなトレランス幅を活かしてマーカによる簡易な位置合わせ法を用い, 十分な位置合わせ精度(横方向ずれ10μm以-ド, 回転ずれ0.8°以下)と均一な光結合(平均0.7dB, ばらつき0.6dB)を得た。これらの位置合わせ法を用いてLD/PDを搭載したWDM・Y分岐を含むPLCモジュールを製作し, 光出力8mW以上, 受光感度0.3A/W以上の良好な特性を得た。 |
| 抄録(英) | We have realized assembly of optical device with high uniform optical coupling by passive alignment technique using markers. As for LDs, we achieved high accurate assembly with lateral deviation less than 1 μm and rotational one less than 0.4° and high efficient optical coupling with average coupling loss of 3.8 dB and high uniformity low deviation less than 2 dB. As for PDs, using wide alignment tolerance of corner illuminated PIN-PD, simple marker alignment method was developed. Sufficient alignment accuracy with lateral deviation less than 10 μm and rotational one less than 0.8° and high efficient and uniform optical coupling with average coupling loss of 0.7 dB and deviation less than 0.6 dB. LD/PD PLC modules with these assembly technique show high optical output and light sensitivity. |
| キーワード(和) | PLCプラットフォーム / 無調芯実装 / マーカ / テーパ導波路付きLD / 面取り入射型PD |
| キーワード(英) | PLC platform / passive alignment / marker / tapered-thickness waveguide LD / corner-illuminated PD |
| 資料番号 | OPE97-65 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 1997/8/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | PLCプラットフォームへのマーカによる無調芯高均一光結合素子実装 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Assembly of optical devices on PLC platforms with high uniform optical coupling efficiency by passive alignment technique using markers |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | PLCプラットフォーム / PLC platform |
| キーワード(2)（和/英） | 無調芯実装 / passive alignment |
| キーワード(3)（和/英） | マーカ / marker |
| キーワード(4)（和/英） | テーパ導波路付きLD / tapered-thickness waveguide LD |
| キーワード(5)（和/英） | 面取り入射型PD / corner-illuminated PD |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 一弘 / Kazuhiro Tanaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐々木 誠美 / Seimi Sasaki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山本 直樹 / Naoki Yamamoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中川 剛二 / Gohji Nakagawa |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 乗松 正明 / Masaaki Norimatsu |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 小林 宏彦 / Hirohiko Kobayashi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 三浦 和則 / Kazunori Miura |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 矢野 光博 / Mitsuhiro Yano |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 株式会社富士通研究所 FUJITSU LABORATORIES LTD. |
| 発表年月日 | 1997/8/22 |
| 資料番号 | OPE97-65 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 236 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |