| 講演名 | 1997/8/22 光通信用シリコンV溝基板の開発 加来 良二, 前沢 卓也, 高山 清, 佐藤 光俊, 高橋 あゆ美, 原田 正, |
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| 抄録(和) | ローコストタイプの表面実装型光モジュールに使われるシリコンV溝基板を開発したのでその内容について報告する。この用途における市場要求は一言でいうと"コストと精度の両立"にある。我々は量産レベルにおいてV溝幅、メタルマーカーパターンについては±0.5μm、V溝とマーカーの相対位置精度ついてはほぼ0μmというパッシブアライメントに十分な精度を得た。これによりシリコンV溝基板が将来型光モジュールのキーパーツとしてきわめて有望であることを確認した。 |
| 抄録(英) | We have developed the Si V-groove substrate for surface mounted type optical modules. The most important key word id "The consistency of the low-cost and the high accuracy" in this market. We had the enough accuracy ±0.5μm of the V-groove width and the metal marker pattern, and ～0μm of the relative position between a V-groove center and a metal marker on the production level. We confirmed that the Si V-groove substrate is very useful for low-cost optical modules using passive alignment. |
| キーワード(和) | シリコンV溝基板 / パッシブアライメント / ローコスト / 高精度 / 光モジュール / 異方性エッチング |
| キーワード(英) | Silicon V-groove / Passive alignment / Low cost / High accuracy / Optical module / Anisotropic etching |
| 資料番号 | OPE97-61 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 1997/8/22(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光通信用シリコンV溝基板の開発 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of the Si V-groove substrate for optical fiber communication |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンV溝基板 / Silicon V-groove |
| キーワード(2)（和/英） | パッシブアライメント / Passive alignment |
| キーワード(3)（和/英） | ローコスト / Low cost |
| キーワード(4)（和/英） | 高精度 / High accuracy |
| キーワード(5)（和/英） | 光モジュール / Optical module |
| キーワード(6)（和/英） | 異方性エッチング / Anisotropic etching |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 加来 良二 / Ryoji Kaku |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本航空電子工業(株)中央研究所 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Central Research Laboratory |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 前沢 卓也 / Takuya Maezawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本航空電子工業(株)中央研究所 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Central Research Laboratory |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 高山 清 / Kiyoshi Takayama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本航空電子工業(株)中央研究所 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Central Research Laboratory |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 佐藤 光俊 / Mitsutoshi Sato |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日本航空電子工業(株)中央研究所 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Central Research Laboratory |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 高橋 あゆ美 / Ayumi Takahashi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日本航空電子工業(株)中央研究所 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Central Research Laboratory |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 原田 正 / Tadashi Harada |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日本航空電子工業(株)光エレクトロニクス開発本部 Japan Aviation Electronics Industry, Limited Optoelectronics Development Division |
| 発表年月日 | 1997/8/22 |
| 資料番号 | OPE97-61 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 236 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |