| 講演名 | 1995/12/14 低コヒーレント光干渉による屈折率と厚さ同時精密測定 : 原理提案 近江 雅人, 白石 偉久, 田尻 秀幸, 春名 正光, |
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| 抄録(和) | 我々は、マイケルソン・低コヒーレント光干渉計を用いた、新たな屈折率nと厚さt同時測定法を提案する。本手法では、参照光ミラー以外に、測定サンプル(透明板)または集光レンズを微動ステージ上に搭載する。サンプル前面と裏面の二つの集光状態における光路差と、これら二つの集光状態を得るための測定サンプルまたは集光レンズの移動距離を測定し、これによって所望のn、tを算出するものである。既存のステージを用いて、t≧100mm厚では測定精度10^<-3>が期待できる。本稿では、測定原理、測定系およぴ実際に即した測定手順の詳細について述べる。 |
| 抄録(英) | We propose for the first time a novel technique for simultaneous measurement of the refractive index n and thickness t of transparent plates, used as a measured object, in the low-coherence Michelson interferometer. In this method, The measured object (on the focusing lens) are placed on precise translation stages as well as the reference mirror. A illuminating light is focused on the front and rear planes of the object by moving the object (or the lens). The moving distance and the corresponding optical path difference yield desirable values of n and t with short calculation. It is fully possible to achieve the measurement accuracy of 10^<-3> using commercially available stages. |
| キーワード(和) | 低コヒーレント光干渉 / 屈折率と厚さ同時測定 / オプトメカトロニクス |
| キーワード(英) | Low coherence interferometry / Simultaneous measurement of refractive index and thickness / Opto-mechatronics |
| 資料番号 | OPE95-116 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 1995/12/14(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低コヒーレント光干渉による屈折率と厚さ同時精密測定 : 原理提案 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Simultaneous Measurements of Refractive index and Thickness of Transparent Plates by Low Coherence Interferometry : Proposal |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 低コヒーレント光干渉 / Low coherence interferometry |
| キーワード(2)（和/英） | 屈折率と厚さ同時測定 / Simultaneous measurement of refractive index and thickness |
| キーワード(3)（和/英） | オプトメカトロニクス / Opto-mechatronics |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 近江 雅人 / Masato Ohmi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学医学部保健学科 Department of Allied Health Science, Faculty of Medicine, Osaka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 白石 偉久 / Takehisa Shiraishi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学医学部保健学科・大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻 Department of Allied Health Science, Faculty of Medicine, Osaka University @ Course of Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Osaka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 田尻 秀幸 / Hideyuki Tajiri |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学医学部保健学科・大阪大学大学院工学研究科電子工学専攻 Department of Allied Health Science, Faculty of Medicine, Osaka University @ Course of Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Osaka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 春名 正光 / Masamitsu Haruna |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪大学医学部保健学科 Department of Allied Health Science, Faculty of Medicine, Osaka University |
| 発表年月日 | 1995/12/14 |
| 資料番号 | OPE95-116 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 415 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |