| 講演名 | 1998/6/19 高抵抗Fe-Hf-Oを磁性層とする薄膜インダクタの基礎特性とスイッチング電源への応用 駒井 栄一, 梅津 英治, 中林 亮, 森田 澄人, 佐々木 義人, 畑内 隆史, 牧野 彰宏, 佐藤 敏郎, 山沢 清人, |
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| 抄録(和) | 本稿では, 高周波特性に優れる高抵抗軟磁性Fe-Hf-O薄膜を用いた薄膜インダクタの基礎特性およびこれを搭載したマイクロDC-DCコンバータの動作特性について述べる.Fe-Hf-O薄膜は高い電気抵抗をし, 100MHzまでの周波数においても低損失である.このFe-Hf-O薄膜を磁性層とする薄膜インダクタは周波数5MHzにおいて性能係数の最大値は4.6～6.0を得ている.この薄膜インダクタを搭載したマイクロDC-DCコンバータはスイッチング周波数5MHzで出力0.48Wの動作において効率73%の高い値が得られた. |
| 抄録(英) | This paper describes electronic characteristics of a thin-film inductor using the high resistive Fe-Hf-O thin film and operating characteristics of micro DC-DC converter using The inductor. Fe-Hf-O thin films show low loss characteristics at a high frequency up to 100MHz owing to their high electrical resistivity.. As a result, a thin-film inductor utilizing the Fe-Hf-O thin films, exhibits high Q value of 4.6-6.0 at f=5MHz. For the micro DC-DC converter operated at f=5MHz, the output power of 0.48W and efficiency of 73% are obtained. |
| キーワード(和) | 高抵抗軟磁性薄膜 / 薄膜インダクタ / マイクロDC-DCコンバータ |
| キーワード(英) | high resistive soft magnetic film / thin-film inductor / micro DC-DC converter |
| 資料番号 | EE98-11 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EE |
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| 開催期間 | 1998/6/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Energy Engineering in Electronics and Communications (EE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高抵抗Fe-Hf-Oを磁性層とする薄膜インダクタの基礎特性とスイッチング電源への応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electronic Characteristics of Thin Film Inductor using High Resistive Fe-Hf-O Magnetic Films and Its Application to Switching Converters |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 高抵抗軟磁性薄膜 / high resistive soft magnetic film |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜インダクタ / thin-film inductor |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロDC-DCコンバータ / micro DC-DC converter |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 駒井 栄一 / Eiichi Komai |
| 第 1 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 梅津 英治 / Eiji Umetsu |
| 第 2 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中林 亮 / Ryo Nakabayashi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 森田 澄人 / Sumihito Morita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 佐々木 義人 / Yoshito Sasaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 畑内 隆史 / Takashi Hatanai |
| 第 6 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 牧野 彰宏 / Akihiro Makino |
| 第 7 著者 所属（和/英） | アルプス電気(株) Alps Electric Co., Ltd |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 佐藤 敏郎 / Toshiro Sato |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Shinsyu University |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 山沢 清人 / Kiyohito Yamasawa |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Shinsyu University |
| 発表年月日 | 1998/6/19 |
| 資料番号 | EE98-11 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 132 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
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