| 講演名 | 1998/10/26 アルミニウム中空ファイバによるエキシマレーザ伝送 松浦 祐司, 宮城 光信, |
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| 抄録(和) | エキシマレーザ光用の伝送路として、石英キャピラリチューブの内面にアルミニウムを成膜した中空ファイバを新たに開発した。アルミニウムの成膜には有機金属化学気相成長法(MOCVD法)を使用し、鏡面を有するアルミニウム薄膜を一様に形成することに成功した。製作したアルミニウム中空ファイバに対し、ArFおよびKrFレーザを用いて伝送実験を行った結果、内径1.0mmのファイバの直線状態の伝送損失が1.0dB/m(ArF)、0.4dB/m(KrF)と低損失性を有することが示された。 |
| 抄録(英) | Hollow fibers with an internal aluminum coating are developed for delivery of high-powered excimer laser light pulses. The aluminum film with a mirror surface is deposited on the inside of glass capillary tubing by using metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) technique. The fiber shows low-loss property for ArF -and KrF-excimer laser light. The straight losses of the fiber with 1.0mm-bore are 1.0dB/m for ArF and 0.4dB/m for KrF lasers. |
| キーワード(和) | エキシマレーザ / 紫外ファイバ / 中空ファイバ |
| キーワード(英) | Excimer lasers / UV fibers / hollow fibers |
| 資料番号 | EE98-43,OFT98-36 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OFT |
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| 開催期間 | 1998/10/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optical Fiber Technology (OFT) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アルミニウム中空ファイバによるエキシマレーザ伝送 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Aluminum hollow fibers for delivery of excimer laser light |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | エキシマレーザ / Excimer lasers |
| キーワード(2)（和/英） | 紫外ファイバ / UV fibers |
| キーワード(3)（和/英） | 中空ファイバ / hollow fibers |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松浦 祐司 / Yuji MATSUURA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宮城 光信 / Mitsunobu MIYAGI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1998/10/26 |
| 資料番号 | EE98-43,OFT98-36 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 367 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |