講演名 2002/6/6
ZrB_2 基板作製の現状(<小特集テーマ>進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
大谷 茂樹,
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抄録(和) 高周波加熱FZ法により、直径1.5cm、長さ8cmのZrB2 単結晶を育成した。X線回折における半値幅が100arcsec程度、エッチピット密度が10^6-10^7/cm^2であった。
抄録(英) ZrB_2 single crystals, 1.5 cm in diameter and 8 cm long, were prepared by the RF-heated floating zone method. The FWHM value was about 100 arcsec. The etch pit density was 10^6-10^7/cm^2.
キーワード(和) ZrB_2 / GaN / 基板 / 結晶育成
キーワード(英) ZrB_2 / GaN / Substrate / Crystal growth
資料番号 LQE2002-23
発行日

研究会情報
研究会 LQE
開催期間 2002/6/6(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Lasers and Quantum Electronics (LQE)
本文の言語 JPN
タイトル(和) ZrB_2 基板作製の現状(<小特集テーマ>進展する窒化物半導体光・電子デバイスの現状,及び一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Preparation of ZrB_2 single crystals and the substrates
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) ZrB_2 / ZrB_2
キーワード(2)(和/英) GaN / GaN
キーワード(3)(和/英) 基板 / Substrate
キーワード(4)(和/英) 結晶育成 / Crystal growth
第 1 著者 氏名(和/英) 大谷 茂樹 / Shigeki OTANI
第 1 著者 所属(和/英) 独立行政法人 物質・材料研究機構 物質研究所
National Institute for Materials Science, Advanced Materials Laboratory
発表年月日 2002/6/6
資料番号 LQE2002-23
巻番号(vol) vol.102
号番号(no) 117
ページ範囲 pp.-
ページ数 3
発行日