| 講演名 | 2004/2/13 Si導波層を有する光非相反素子(光波センシング,光波制御,検出,光計測,ニュロ,一般) 横井 秀樹, 庄司 雄哉, 水本 哲弥, |
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| 抄録(和) | 二枚の基板を接着剤を用いずに貼り合わせるダイレクトボンディング技術により、Si導波層を有する光非相反素子が構成できる。SOI基板と磁性ガーネットを貼り合わせて得られる磁性ガーネット/Si/SiO_2構造の磁気光学導波路を用いて構成される様々な光非相反素子について述べる。Siとガーネット結晶のダイレクトボンディングに関する基礎的な実験結果についても併せて報告する。 |
| 抄録(英) | An optical isolator with a Si guiding layer is constructed by a wafer bonding technique, by which two dissimilar materials can be connected without any adhesives in between. Several kinds of optical nonreciprocal devices with a magnetic garnet / Si / SiO_2 magneto-optic waveguide, which is obtained by wafer bonding between a silicon-on-insulator and a magnetic garnet, are described. Preliminary experiments on wafer bonding between Si and a garnet crystal is also reported. |
| キーワード(和) | 光非相反素子 / SOI / 磁性ガーネット / ダイレクトボンディング |
| キーワード(英) | optical nonreciprocal device / silicon-on-insulator / magnetic garnet / wafer bonding |
| 資料番号 | OPE2003-273 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE |
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| 開催期間 | 2004/2/13(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Optoelectronics (OPE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Si導波層を有する光非相反素子(光波センシング,光波制御,検出,光計測,ニュロ,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Optical nonreciprocal devices with Si guiding layer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光非相反素子 / optical nonreciprocal device |
| キーワード(2)（和/英） | SOI / silicon-on-insulator |
| キーワード(3)（和/英） | 磁性ガーネット / magnetic garnet |
| キーワード(4)（和/英） | ダイレクトボンディング / wafer bonding |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 横井 秀樹 / Hideki YOKOI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻 Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 庄司 雄哉 / Yuya SHOJI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻 Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 水本 哲弥 / Tetsuya MIZUMOTO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻 Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Science and Engineering, Tokyo Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2004/2/13 |
| 資料番号 | OPE2003-273 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 667 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |