| 講演名 | 2002/12/13 AFMナノウェア評価における表面形状測定条件の影響 大久保 芳彦, 松橋 伸介, 田島 永善, 梅村 茂, 廣野 滋, 金子 礼三, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | AFMナノウェア試験法は様々な種類の材料の耐摩耗性の評価や極薄膜の密着性の評価に用いられている。しかし、ナノウェア試験法において、摩耗粉の挙動やスクラッチ部の形状観察に対する摩耗粉の影響などは明らかになっていない。これらの解明のため、筆者らは、タッピングモードAFMおよびマイクロカンチレパーを用いたコンタクトモードAFMでスクラッチ部の測定を行った。その結果、摩耗粉の挙動は測定モードに依存し、スクラッチ部の形状は摩耗粉の存在が影響することを見出した。 |
| 抄録(英) | Nanowear test based on AFM technique has been applied for the evaluation of wear durability characteristics of various materials and adhesion characteristics of ultrathin films. However, motion of wear debris during the nanowear tests and effects of wear debris on topography measurement tests have not been well clarified. To clarify these items, we have observed the scratched surface by the tapping mode and the contact mode at a low load condition in AFM. We have found that the motion of the wear debris was significantly affected by the observation modes and the topography of measurement results the scratched area were altered by the presence of the wear debris. |
| キーワード(和) | 摩耗 / ナノウェア / スクラッチ / 摩耗粉 / 表面 / AFM |
| キーワード(英) | Wear / Nanowear / Scratch / Wear debris / Surface / AFM |
| 資料番号 | EMD2002-93 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD |
|---|---|
| 開催期間 | 2002/12/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electromechanical Devices (EMD) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | AFMナノウェア評価における表面形状測定条件の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effects of surface topography measurement conditions on AFM-based nanowear tests |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 摩耗 / Wear |
| キーワード(2)（和/英） | ナノウェア / Nanowear |
| キーワード(3)（和/英） | スクラッチ / Scratch |
| キーワード(4)（和/英） | 摩耗粉 / Wear debris |
| キーワード(5)（和/英） | 表面 / Surface |
| キーワード(6)（和/英） | AFM / AFM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大久保 芳彦 / Yoshihiko OHKUBO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉工業大学工学部 Faculty of Engineering, Chiba Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松橋 伸介 / Shinsuke MATSUHASHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉工業大学工学部 Faculty of Engineering, Chiba Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 田島 永善 / Hisayoshi TAZIMA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉工業大学工学部 Faculty of Engineering, Chiba Institute of Technology |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 梅村 茂 / Shigeru UMEMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉工業大学工学部 Faculty of Engineering, Chiba Institute of Technology |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 廣野 滋 / Shigeru HIRONO |
| 第 5 著者 所属（和/英） | エヌ・ティ・ティ・アフティ株式会社 NTT AFTY Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 金子 礼三 / Reizo KANEKO |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 和歌山大学システム工学部 Faculty of Systems Engineering, Wakayama University |
| 発表年月日 | 2002/12/13 |
| 資料番号 | EMD2002-93 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 539 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |