| 講演名 | 2004/2/12 プラズマチャンバー内における放電箇所推定法の提案 石渡 祐, 鹿子嶋 憲一, 尾保手 茂樹, 鈴木 功一, |
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| 抄録(和) | 半導体や液晶などの前工程プロセスには多くのプラズマ装置が使用されている.近年の微細加工処理技術の必要性からプラズマの応用が特に必要となってきているが,装置の真空チャンバー内ではマイクロアークと呼ばれる異常放電が発生し,パーティクルによる品質劣化,ウェハ表面の損傷,デバイスの絶縁破壊,時には装置の停止といった生産性に関わる重大な問題を引き起こしている.この問題を解決する初期段階として,内部での異常放電の発生を確認することが有効と考えられる.今までに異常放電発生時の光や音波振動を検出する方法,電源回路内の電流の異常を検知する方法が検討されているが,完全なリアルタイム検出にまでは至っておらず,発生箇所の特定などはさらに困難な状況にある.そこで,本稿では,放電発生時の電磁波に着目し,プラズマチャンバー内で起こる異常放電の発生箇所を推定するのに必要な構造条件等をシミュレーションにより確認するとともに,電磁波検出による発生箇所推定の可能性を検討したのでその報告を行う. |
| 抄録(英) | A lot of plasma devices are used to process semiconductors and the liquid crystals. Recently, plasma technology is needed from the necessity of the micro fabrication processing technology, but abnormal electrical discharge that is called a micro arc is generated in the vacuum chamber, and a serious problem related to productivity of the device ceased, quality degradation by the particle, damage of the surface on the wafer, a dielectric breakdown of the device at times, are caused. The way to confirm of the presence that abnormal electrical discharging generations is thought as the first step for problems are solved. Although the method of detecting light, the sound wave vibration and abnormality of the current in the power supply circuit are being examined now when abnormal electrical discharge is generated, the completely real-time detection has not achieved, further it is difficult to estimate the generation part. Then, structural conditions which needed to estimate the generation part in plasma chamber are confirmed by the simulation and this paper report the result of investigation about estimation by electromagnetic wave detection. |
| キーワード(和) | プラズマチャンバー / 異常放電 / 電磁波 / 双曲線推定法 |
| キーワード(英) | Plasma Chamber / Abnormal Electrical Discharge / Electromagnetic Wave / Hyperbola Estimation Method |
| 資料番号 | A・P2003-279 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | AP |
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| 開催期間 | 2004/2/12(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Antennas and Propagation (A・P) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | プラズマチャンバー内における放電箇所推定法の提案 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Proposal of Estimation Method for Discharging Part in a Plasma Chamber |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プラズマチャンバー / Plasma Chamber |
| キーワード(2)（和/英） | 異常放電 / Abnormal Electrical Discharge |
| キーワード(3)（和/英） | 電磁波 / Electromagnetic Wave |
| キーワード(4)（和/英） | 双曲線推定法 / Hyperbola Estimation Method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石渡 祐 / Yu ISHIWATA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 茨城大学工学部メディア通信工学科 Department of Media and Telecommunications Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鹿子嶋 憲一 / Kenichi KAGOSHIMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 茨城大学工学部メディア通信工学科 Department of Media and Telecommunications Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 尾保手 茂樹 / Shigeki OBOTE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 茨城大学工学部メディア通信工学科 Department of Media and Telecommunications Engineering, Faculty of Engineering, Ibaraki University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 鈴木 功一 / Kouichi SUZUKI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ファブソリューション株式会社 Fab Solutions Company Limited |
| 発表年月日 | 2004/2/12 |
| 資料番号 | A・P2003-279 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 655 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |