| 講演名 | 2004/9/9 くし型電極を用いた半導体ガスセンサの研究(化学センサー・一般) 吉田 充邦, 齋藤 敦史, |
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| 抄録(和) | 本研究では半導体ガスセンサの選択性の向上を目的とし、センサの電極をくし型構造に改良した。従来の半導体ガスセンサはガス分子の酸化・還元反応によって生じる膜導電率変化のみでガスを検出していた。一方、くし型電極はR-C並列等価回路で表すことができるため、膜の導電率・誘電率双方の変化によりガス検出が可能となる。しかし、誘電率の変化を得るためには膜導電率の制御が必要である。本報告では、くし型電極を用いた半導体ガスセンサの応答特性、特にヒータ電圧との関係について述べる。 |
| 抄録(英) | In our research, electrodes for measurement of a semiconductor gas sensor was modified to interdigital structure to improve the selectivity of the sensor. The detection principle of gases with commonly used semiconductor gas sensor is based on the conductivity change of the semiconductor film caused by oxidation-reduction reaction between the film surface and gas molecules. On the other side, in the case of using interdigital electrodes, gases can be detected by both changes of the conductivity and dielectric constant of semiconductor film, because interdigital-electrodes is expressed by R-C parallel equivalent circuit. However, it is necessary to control the conductivity of a semiconductor film in order to measure the change of the dielectric constant of the film. In this report, we describe the response characteristics of semiconductor gas sensors with interdigital-electrodes, especially, the relation with the heater voltage supplied to the sensor. |
| キーワード(和) | ガスセンサ / 半導体 / くし型電極 / 酸化 / 還元反応 / 選択性 |
| キーワード(英) | Gas sensor / Semiconductor / Interdigital electrode / Oxidation-reduction reaction / Selectivity |
| 資料番号 | OME2004-68 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2004/9/9(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | くし型電極を用いた半導体ガスセンサの研究(化学センサー・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study of Semiconductor Gas Sensor Using Interdigital Electrodes |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ガスセンサ / Gas sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 半導体 / Semiconductor |
| キーワード(3)（和/英） | くし型電極 / Interdigital electrode |
| キーワード(4)（和/英） | 酸化 / Oxidation-reduction reaction |
| キーワード(5)（和/英） | 還元反応 / Selectivity |
| キーワード(6)（和/英） | 選択性 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 吉田 充邦 / Michiho Yoshida |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部 Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 齋藤 敦史 / Atsushi Saitoh |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 芝浦工業大学工学部 Faculty of Engineering, Shibaura Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2004/9/9 |
| 資料番号 | OME2004-68 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 300 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |