講演名 2004/9/9
高感度SnO_2センサを用いた室内空気モニタリング(化学センサー・一般)
史 麗琴, 長谷川 有貴, 勝部 昭明, 中野 守, 中村 清純,
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抄録(和)
抄録(英) The present work is concerned on developing a high performance and reliable SnO_2-based Gas Sensor for Indoor Air Quality Monitoring. The SnO_2 doped with metallic additive was deposited on an alumina substrate using R.F. Induction Plasma Deposition (IPD) technique. The influence of the post-deposition annealing conditions on the physical properties of the generated sensing film was examined with SEM, XRD method. The obtained sensor showed high sensitivity to Volatile Organic Compounds such as Formaldehyde. The sensitivity to detect formaldehyde can be achieved at an extremely low gas concentration less than 20 parts-per-billion (ppb) with response time less than several minutes. Moreover, the effect of the metallic additive on the gas sensing properties was also investigated in the work.
キーワード(和)
キーワード(英) SnO_2-based Gas Sensor / metallic additives / IPD / high sensitivity / Formaldehyde
資料番号 OME2004-67
発行日

研究会情報
研究会 OME
開催期間 2004/9/9(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Organic Material Electronics (OME)
本文の言語 ENG
タイトル(和) 高感度SnO_2センサを用いた室内空気モニタリング(化学センサー・一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Highly Sensitive SnO_2-based Gas Sensor for Indoor Air Quality Monitoring
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / SnO_2-based Gas Sensor
第 1 著者 氏名(和/英) 史 麗琴 / Liqin Shi
第 1 著者 所属(和/英) 埼玉大学工学部
Faculty of Engineering, Saitama University
第 2 著者 氏名(和/英) 長谷川 有貴 / Yuki Hasegawa
第 2 著者 所属(和/英) 埼玉大学工学部
Faculty of Engineering, Saitama University
第 3 著者 氏名(和/英) 勝部 昭明 / Teruaki Katsube
第 3 著者 所属(和/英) 埼玉大学工学部
Faculty of Engineering, Saitama University
第 4 著者 氏名(和/英) 中野 守 / Mamoru Nakano
第 4 著者 所属(和/英) ウチヤ・サーモスタット研究部
Uchiya Thermostat Co., Ltd
第 5 著者 氏名(和/英) 中村 清純 / Kiyozumi Nakamura
第 5 著者 所属(和/英) ウチヤ・サーモスタット研究部
Uchiya Thermostat Co., Ltd
発表年月日 2004/9/9
資料番号 OME2004-67
巻番号(vol) vol.104
号番号(no) 300
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日