| 講演名 | 2003/4/8 真空蒸着法によるポリジメチルシラン薄膜の作製と配向制御(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術) 大多 英隆, 古川 昌司, |
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| 抄録(和) | ポリジメチルシランを用いて真空蒸着法により薄膜を作製した。これまでの研究から、蒸着圧力が比較的高い場合(<1×10^<-3>[Torr])に基板温度を変化させ、Si (100)基板上に蒸着を行うと、基板温度の上昇に伴い薄膜は(100)配向しやすくなることが確認されていた。本研究では石英ガラス基板上に同様の薄膜を作製し、ほぼ同じ結果を得た。さらに、基板温度を一定として、蒸着圧力を変化させて薄膜を作製すると、薄膜の配向が大きく変化することが確認されていた。本研究では蒸着源-基板間距離を変化させ、蒸着圧力が及ぼす薄膜の構造への影響について検討した。 |
| 抄録(英) | Poly (di-methyl silane) thin films have been prepared by vacuum evaporation technique. In the previous study, it was found that the oriented film can be obtained on Si (100) wafer substrate at high substrate temperature. Moreover, the molecular orientation can be controlled by changing evaporation pressure. The temperature of the substrate was held constant at 100℃. In this paper, we have prepared the oriented film on the Si (100) substrate as well as the quartz glass substrate. We also investigated the effect of the distance between the substrate and the source on the structure of the film. |
| キーワード(和) | 有機ポリシラン / ポリジメチルシラン / 真空蒸着 / 配向制御 |
| キーワード(英) | Organopolysilane / Poly (di-methyl silane) / Vacuum Evaporation Method / Orientation Control |
| 資料番号 | ED2003-10,SDM2003-10,OME2003-10 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2003/4/8(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 真空蒸着法によるポリジメチルシラン薄膜の作製と配向制御(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Orientation Control of Poly (di-methyl silane) Thin Film Prepared By Vacuum Evaporation Method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 有機ポリシラン / Organopolysilane |
| キーワード(2)（和/英） | ポリジメチルシラン / Poly (di-methyl silane) |
| キーワード(3)（和/英） | 真空蒸着 / Vacuum Evaporation Method |
| キーワード(4)（和/英） | 配向制御 / Orientation Control |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大多 英隆 / Hidetaka OHTA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州工業大学大学院情報工学研究科:CREST科学技術振興事業団 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology:CREST Japan Science and Technology Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 古川 昌司 / Shoji FURUKAWA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州工業大学大学院情報工学研究科:CREST科学技術振興事業団 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology:CREST Japan Science and Technology Corporation |
| 発表年月日 | 2003/4/8 |
| 資料番号 | ED2003-10,SDM2003-10,OME2003-10 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 8 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |