講演名 2003/4/8
[招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
川瀬 健夫,
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抄録(和) ポリマーTFT (Thin Film Transistor)を大気中・全溶液プロセスによって作製した。ソース・ドレイン・ゲート電極のパタニングは、インクジェットヘッドを用いて導電性ポリマーpoly (ethylenedioxythiophene) (PEDOT)を印刷することによって、半導体、絶縁体層はポリマー溶液をスピンコートすることによって得た。インクジェット印刷の解像度では20ミクロン以下のチャンネル長のパターニングは困難であるが、フォトリソグラフィによって形成した撥水性のパターンに沿って導電性ポリマーの水分散液を印刷することによって、5ミクロン以下のチャンネル長を得ることができた。単体のTFTだけでなく、インバータ、アクティブマトリックス表示素子なども作製して動作を確認した。
抄録(英) All-polymer thin film transistors, inverters and active-matrix backplanes have been fabricated by inkjet printing technique. Source, drain and gate electrodes were printed with a aqueous dispersion of conducting polymer, poly (ethylenedioxythiophene) (PEDOT). The semiconductor and the gate dielectric were spin-coated from solutions of conjugated polymer and insulator polymer, respectively. In order to overcome the resolution limit of inkjet printing, PEDOT aqueous dispersion has been deposited onto a pre-patterned substrate which involves wettability contrast to define a channel, and polymer transistors with a channel length of 5 microns have been achieved. These transistors were applied to inverter circuits and active-matrix backplanes. Active-matrix operation of an electrophoretic display device has been demonstrated with the printed polymer active-matrix backplane.
キーワード(和) 有機トランジスタ / 導電性ポリマー / 共役性ポリマー / インクジェット
キーワード(英) organic transistor / conductive polymer / conjugated polymer / ink-jet
資料番号 ED2003-9,SDM2003-9,OME2003-9
発行日

研究会情報
研究会 OME
開催期間 2003/4/8(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Organic Material Electronics (OME)
本文の言語 JPN
タイトル(和) [招待論文]インクジェット印刷法によるポリマーTFTの作製(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Invited : Ink-Jet Printing of Polymer Thin Film Transistor
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 有機トランジスタ / organic transistor
キーワード(2)(和/英) 導電性ポリマー / conductive polymer
キーワード(3)(和/英) 共役性ポリマー / conjugated polymer
キーワード(4)(和/英) インクジェット / ink-jet
第 1 著者 氏名(和/英) 川瀬 健夫 / Takeo Kawase
第 1 著者 所属(和/英) セイコーエプソン株式会社テクノロジープラットフォーム研究所
Technology Platform Research Center, Seiko-Epson Corporation
発表年月日 2003/4/8
資料番号 ED2003-9,SDM2003-9,OME2003-9
巻番号(vol) vol.103
号番号(no) 8
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日