| 講演名 | 2003/11/12 両面発光型OLEDにおける透明電極スパッタダメージ発生機構の解析と抑制(機能性有機薄膜,一般) 継田 浩平, 栗屋 豊, 市川 結, 小山 俊樹, 谷口 彬雄, |
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| 抄録(和) | 両面発光型OLEDは,上部透明電極として主にITOなどの透明導電酸化物のスパッタ膜が利用されている。この透明導電酸化物は一般的に成膜パワーの大きなスパッタ法などにより成膜するため,このスパッタ成膜時に有機層がダメージを受ける。そこで,本研究では,まずダメージの原因を調べるために透明電極成膜時に基板へ到達している荷電粒子を計測した。その結果Ar^+などの正の荷電粒子が基板に到達していることがわかった。次に,磁場によるプラズマシールドの効果について調べたところ,基板に到達する荷電粒子の量を1/3に減らせることがわかった。さらに,保護層としてBi薄膜を用いた両面発光型OLEDを作製・評価したところ,スパッタによる有機層へのダメージが抑制され,素子性能が向上した。 |
| 抄録(英) | Sputter films of transparent conducting oxides, such as ITO, are mainly used as upper transparent electrodes of dual-sided emission OLEDs. Since the transparent conducting oxide is generally deposited by the sputtering process with high power, an organic layer suffers damage. In this report, in order to investigate the cause of the damage, when the charged particle which has reached to the substrate at the time of sputtering was measured. It turns out that positive charged particles, such as Ar^+, have reached to the substrate. Then, when the effects of the plasma shield by the magnetic field were investigated, it turns out that the quantity of the charged particle which reached to a substrate was reduced to one third. Next, when dual-sided emission OLED using a Bi thin film as a protection layer was built up and evaluated, the sputter damage to the organic layer was suppressed, and the device performance was improved. |
| キーワード(和) | シースルーディスプレイ / 両面発光 / OLED / 透明電極 / スパッタダメージ / 保護層 |
| キーワード(英) | See-Through-Display / dual-side emission / OLED / transparent conducting electrode / sputter damage / protection layer |
| 資料番号 | OME2003-107 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2003/11/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 両面発光型OLEDにおける透明電極スパッタダメージ発生機構の解析と抑制(機能性有機薄膜,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis and suppression of a transparent electrode sputter damage generating mechanism for dual-sided emission organic light-emitting diode |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シースルーディスプレイ / See-Through-Display |
| キーワード(2)（和/英） | 両面発光 / dual-side emission |
| キーワード(3)（和/英） | OLED / OLED |
| キーワード(4)（和/英） | 透明電極 / transparent conducting electrode |
| キーワード(5)（和/英） | スパッタダメージ / sputter damage |
| キーワード(6)（和/英） | 保護層 / protection layer |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 継田 浩平 / Kohei TSUGITA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部 Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 栗屋 豊 / Yutaka KURIYA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部 Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 市川 結 / Musubu ICHIKAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部機能高分子学科 Department of Functional Polymer Science, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 小山 俊樹 / Toshiki KOYAMA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部機能高分子学科 Department of Functional Polymer Science, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 谷口 彬雄 / Yoshio TANIGUCHI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 信州大学繊維学部機能高分子学科 Department of Functional Polymer Science, Faculty of Textile Science and Technology, Shinshu University |
| 発表年月日 | 2003/11/12 |
| 資料番号 | OME2003-107 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 441 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |