| 講演名 | 2003/11/12 高感度湿度センサへのポリイミド薄膜の応用(機能性有機薄膜,一般) 野池 祐一, 伊東 栄次, 宮入 圭一, |
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| 抄録(和) | 耐熱性高分子であるポリイミドには吸湿性がある.吸湿することによって,ポリイミド薄膜の静電容量が増大する.湿度との対応が取れれば,湿度センサとして応用できる.まず,湿度が安定した状態で静電容量を測定した結果,相対湿度と静電容量との関係がほぼ線形になることが確認された.次に,湿度を変化させたときの湿度特性を測定した.その結果,湿度変化に応じた静電容量の急激な変化が観測された.膜厚が薄ければ,水分が抜けやすいことが確かめられた.又,温度の上昇に伴って,静電容量の変化率が大きくなる可能性が示された.静電容量の周波数依存性は小さかった. |
| 抄録(英) | There is hygroscopic nature in heat resistive polyimide. By absorbing moisture, the capacitance of polyimide thin film increases. If correspondence with humidity can be taken, it is applicable as a humidity sensor. Firstly, capacitance was measured under a constant humidity. Consequently, it was confirmed that the linear relationship between relative humidity and capacitance. Secondary, humidity was changed rapidly and capacitance was measured. Consequently, a rapid change of capacitance was observed. If the thickness of the film is thinner, it is easy that moisture to remove. |
| キーワード(和) | ポリイミド / 湿度センサ / 過渡応答 / 静電容量 / スピンコート法 |
| キーワード(英) | Polyimide / Humidity sensor / Transit response / Capacitance / Spin-coating |
| 資料番号 | OME2003-99 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2003/11/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 高感度湿度センサへのポリイミド薄膜の応用(機能性有機薄膜,一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Application of thin polyimide films to a high sensitive humidity sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ポリイミド / Polyimide |
| キーワード(2)（和/英） | 湿度センサ / Humidity sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 過渡応答 / Transit response |
| キーワード(4)（和/英） | 静電容量 / Capacitance |
| キーワード(5)（和/英） | スピンコート法 / Spin-coating |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野池 祐一 / Yuichi NOIKE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 伊東 栄次 / Eiji ITOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宮入 圭一 / Keiichi MIYAIRI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 信州大学工学部 Faculty of Engineering, Shinshu University |
| 発表年月日 | 2003/11/12 |
| 資料番号 | OME2003-99 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 441 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |