| 講演名 | 2003/1/17 2Dフォトニック結晶を用いた光導波路 平野 幸典, |
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| 抄録(和) | 1987年にE.YablonovitchやS.Johnらによって提唱されたフォトニック結晶は,内部に周期的な屈折率分布を有する光学材料であり,様々な光学デバイスへの応用が期待されている。我々は,2次元フォトニック結晶を作製し,有機EL素子と結合した光源の開発を目指している。フォトニック結晶を作製するにあたっては,酸素プラズマでの加工が容易な炭素系材料C-S-Au(炭素-硫黄-金)膜を用いた。C-S-Au膜の屈折率は最大で3.7である。リソグラフィープロセスにより,線状欠陥を有するC-S-Au膜の2次元フォトニック結晶を加工後,PMMAなどのポリマーをスピンコートして平坦化させ,光導波路を作製する。 |
| 抄録(英) | Photonic crystal introduced by E. Yablonovitch, S. John etc. in 1987 is expected to be a new and important optical element. The crystal has a periodic refractive index distribution in one, two or three dimensional structure. For fabrication of 2D (two dimensional) photonic crystal, we used C-S-Au (Carbon-Sulfur-Gold) film with large refractive index (max 3.7) which can be etched by oxygen plasma easily. After we processed C-S-Au film by a lithography. The surface was made flat by spin coated polymer, such as PMMA. |
| キーワード(和) | プラズマ加工 / C-S-Au膜 / 屈折率 / フォトニック結晶 / 光導波路 |
| キーワード(英) | Plasma Process / C-S-Au Film / Refractive Index / Photonic Crystal / Optical Waveguide |
| 資料番号 | OME2002-100 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2003/1/17(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 2Dフォトニック結晶を用いた光導波路 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プラズマ加工 / Plasma Process |
| キーワード(2)（和/英） | C-S-Au膜 / C-S-Au Film |
| キーワード(3)（和/英） | 屈折率 / Refractive Index |
| キーワード(4)（和/英） | フォトニック結晶 / Photonic Crystal |
| キーワード(5)（和/英） | 光導波路 / Optical Waveguide |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 平野 幸典 / Yukinori HIRANO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Guraduate School of Engineering,Nagoya University |
| 発表年月日 | 2003/1/17 |
| 資料番号 | OME2002-100 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 592 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |