| 講演名 | 2003/1/17 MPF光導波路の作成 山崎 周郎, 森田 慎三, |
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| 抄録(和) | 薄膜光導波路の曲線部の曲率半径を小さくするためには,透明微小球配列が有効であることを確認した.本研究では,リソグラフィ加工した円柱配列によって微小球と同等の光回路の製作を試みた.ネサガラス基板上に,ネガレジスト特性を有するポリスチレンをスピンコート法で厚さ約3μmの膜を作成し,直径5μmと10μmの円柱配列を描画し,現像して,製作した.この円柱直線配列のレーザ光(波長670nm)の伝送損失は0.30dB/poleと0.75dB/poleであった.しかし,電子線描画した円柱配列パターンは近接効果のため,接点が分離されていなかった.そこで,円柱接点を中心に一定範囲で電子照射量を滅する手法を用いた結果,近接効果を軽減することに成功した. |
| 抄録(英) | Transparent microsphere array was observed to be useful for reduced curvature radius of thin-film optical waveguide. In this work, we tried to fabricate optical waveguide of pole array instead of microsphere array. By using polystyrene (negative tone resist), 3μm thick pole-array wave-guides were formed on Nesa-glass successfully by a conventional electron-beam lithography method For 5 and lOμmφ linear pole array, the light propagation was successfully realized. The propagation losses at a laser light wavelength of670nm were measured to be 0.30 dB/pole and 0.75 dB/pole for 5 and 10μmφ pole respectively. Close-up effect of electron-beam delineated pattern was observed and each pole wasn't separated In order to reduce close-up effect, new method to decrease the dose rate near the contact point of poles was adopted for the electron beam pattern delineation The curvilinear pole array for 1 0μmφ pole was fabricated successfully. |
| キーワード(和) | 光導波路 / 誘電体 / 電子線リソグラフィー / 微小円柱配列 |
| キーワード(英) | optical waveguide / dielectric material / electron beam lithography / micro-pole array |
| 資料番号 | OME2002-99 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2003/1/17(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MPF光導波路の作成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MPF Optical Waveguide Fabrication |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光導波路 / optical waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | 誘電体 / dielectric material |
| キーワード(3)（和/英） | 電子線リソグラフィー / electron beam lithography |
| キーワード(4)（和/英） | 微小円柱配列 / micro-pole array |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山崎 周郎 / Chikao Yamasaki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering,Nagoya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森田 慎三 / Shinzo Morita |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering,Nagoya University |
| 発表年月日 | 2003/1/17 |
| 資料番号 | OME2002-99 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 592 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |