| 講演名 | 2002/10/4 積層マイクロリング共振器フィルタのリングコアへの紫外線照射による中心波長高精度トリミング 生岩 寛史, 田中 寛晃, 國分 泰雄, |
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| 抄録(和) | 積層マイクロリング共振器フィルタはその機能性,小型,高密度集積化の可能性などから有望なAdd/Drop波長フィルタである.しかしながら,製作誤差によって中心波長が設計値からずれる問題があった.そこで本研究では,デバイス製作後にTa_2O_5-SiO_2(Ta_2O_5 30mol%)をコア材料に用いたリング共振器に紫外線を直接照射し,リングコアの等価屈折率を変化させることによる中心波長のトリミング技術を開発した.リング共振器への紫外線照射により0.48nmの中心波長シフトを達成し,また,トリミング前に水素ローディングを行なうことで最大0.8nmのシフト量を確認し,2400時間以上にわたって経時変化を抑止することに成功した.さらに,超高屈折率差導波路用コア材料としてSiNに着目し,その紫外線照射による屈折率変化が大きいことを発見したので報告する. |
| 抄録(英) | Vertically coupled microring resonator (VCMRR) filter is an attractive Add/Drop wavelength filter due to its functionallity, compactness, and the possibility of dense integration resulting from the cross-grid configuration. However, the accuracy of center wavelength was not satisfactorily enough for the DWDM systems. Thus, we developed a precise UV trimming of the center wavelength, which uses the direct UV irradiation to the Ta_2O_5-SiO_2 ring core. As a result, we achieved 0.48nm of center wavelength shift. The center wavelength shift was enhanced to 0.8nm, and the wavelength shift was stabilized for 2400 hours by hydrogen loading. In addition, we investigated the index change of the SiN film as a high Δ core material, and found a very large index change by UV exposure. |
| キーワード(和) | 波長フィルタ / 紫外線 / トリミング / 光導波路 / リング共振器 |
| キーワード(英) | wavelength filter / UV exposure / trimming / optical waveguide / ring resonator |
| 資料番号 | OME2002-67 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2002/10/4(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Organic Material Electronics (OME) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 積層マイクロリング共振器フィルタのリングコアへの紫外線照射による中心波長高精度トリミング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Precise center wavelength triming of vertically coupled microring resonator filter by direct UV irradiation to ring core |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 波長フィルタ / wavelength filter |
| キーワード(2)（和/英） | 紫外線 / UV exposure |
| キーワード(3)（和/英） | トリミング / trimming |
| キーワード(4)（和/英） | 光導波路 / optical waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | リング共振器 / ring resonator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 生岩 寛史 / Hirofumi Haeiwa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 大学院工学府 物理情報工学専攻 Yokohama National University, Graduate School of Engineering, Division of Physics, Electrical and Computer Engineering |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 田中 寛晃 / Hiroaki Tanaka |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 大学院工学府 物理情報工学専攻 Yokohama National University, Graduate School of Engineering, Division of Physics, Electrical and Computer Engineering |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 國分 泰雄 / Yasuo Kokubun |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学 大学院工学研究院 知的構造の創生部門 Yokohama National University, Faculty of Engineering, Division of Intelligent Systems Engineering |
| 発表年月日 | 2002/10/4 |
| 資料番号 | OME2002-67 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 368 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |