講演名 | 2003/6/19 [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般) 年吉 洋, 角嶋 邦之, 藤田 博之, |
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抄録(和) | マイクロマシン(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS)技術により製作した微小な機械構造を,スイッチ,周波数フィルタ,可変容量等の高周波デバイスに応用した研究について,マイクロマシンの製作法,駆動方法などの基本的技術を交えつつ紹介する. |
抄録(英) | This paper deals with readio-frequency applications of micromachines (Micro Electro Mechanical Systems, MEMS) such as switches, frequency filters, and variable capacitors. |
キーワード(和) | RF-MEMS / マイクロマシン / マイクロアクチュエータ |
キーワード(英) | RF-MEMS / Micromachine / Micro actuator |
資料番号 | CAS2003-14,VLD2003-24,DSP2003-44 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | VLD |
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開催期間 | 2003/6/19(から1日開催) |
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幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | VLSI Design Technologies (VLD) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | [招待論文]MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理,LSI,及び一般) |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | [Invited] MEMS Technology for High-Frequency Device Applications |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | RF-MEMS / RF-MEMS |
キーワード(2)(和/英) | マイクロマシン / Micromachine |
キーワード(3)(和/英) | マイクロアクチュエータ / Micro actuator |
第 1 著者 氏名(和/英) | 年吉 洋 / Hiroshi Toshiyoshi |
第 1 著者 所属(和/英) | 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
第 2 著者 氏名(和/英) | 角嶋 邦之 / Kuniyuki Kakushima |
第 2 著者 所属(和/英) | 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
第 3 著者 氏名(和/英) | 藤田 博之 / Hiroyuki Fujita |
第 3 著者 所属(和/英) | 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
発表年月日 | 2003/6/19 |
資料番号 | CAS2003-14,VLD2003-24,DSP2003-44 |
巻番号(vol) | vol.103 |
号番号(no) | 144 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 4 |
発行日 |