| 講演名 | 2003/8/14 1/f noiseのプロセス依存性 : 高性能アナログ回路の実現に向けて(VLSI回路, デバイス技術(高速, 低電圧, 低電力)) 大黒 達也, 岡山 康則, 松澤 一也, 松永 健, 青木 伸俊, 小島 健嗣, 百瀬 寿代, 石丸 一成, |
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| 抄録(和) | アナログ回路に重要な1/f noiseのゲートオキシナイトライド膜、シンタープロセス及びSTIストレス依存性について議論する。 |
| 抄録(英) | In this paper, dependence of 1/f noise on oxynitridation process, sinter process and STI stress will be discussed. |
| キーワード(和) | 1-f noise / Analog-digital converter / VCO / Phase noise |
| キーワード(英) | 1-f noise / Analog-digital converter / VCO / Phase noise |
| 資料番号 | SDM2003-128,ICD2003-6 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2003/8/14(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 1/f noiseのプロセス依存性 : 高性能アナログ回路の実現に向けて(VLSI回路, デバイス技術(高速, 低電圧, 低電力)) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Process dependence of 1/f noise : For realization of high performance analog circuits |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 1-f noise / 1-f noise |
| キーワード(2)（和/英） | Analog-digital converter / Analog-digital converter |
| キーワード(3)（和/英） | VCO / VCO |
| キーワード(4)（和/英） | Phase noise / Phase noise |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大黒 達也 / TATSUYA OHGURO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岡山 康則 / YASUNORI OKAYAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松澤 一也 / KAZUYA MATSUZAWA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東芝LSI基盤技術ラボラトリー TOSHIBA Corporation Advanced LSI Technology Laboratory |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 松永 健 / TAKESHI MATUNAGA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 青木 伸俊 / NOBUTOSHI AOKI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 小島 健嗣 / KENJI KOJIMA |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 百瀬 寿代 / HISAYO MOMOSE |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 石丸 一成 / KAZUNARI ISHIMARU |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東芝セミコンダクタ一社 TOSHIBA Corporation Semiconductor Company |
| 発表年月日 | 2003/8/14 |
| 資料番号 | SDM2003-128,ICD2003-6 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 261 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |