| 講演名 | 2003/1/23 レーザプロービングパッドの作り込みによるLSI内部動作解析 真田 克, |
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| 抄録(和) | OBICを用いたLSI内部配線の論理を特定する技術において、多層配線構造化、微細構造化したLSIに対して、確実に論理を識別するためにプロービング専用のパッドを提案する。このパッドはLPPfLaser Probing Pad)と呼ぶ、P-Sub基板上に電気的に独立したN+領域を設けたPN接合であり、任意の信号配線に導通させることで、そのLPPにレーザを照射したとき発生する光電流の有無を検出することで論理を判定することができる。実験において、2×2μm^2のLPPにHe-Neレーザ(633nm at 1mW)を照射することで数十μAの光電流値を検出できた。このLPPは0.01pF以下の容量を持つが、平均的な配線長に比べて無視できる大きさである。 |
| 抄録(英) | I have proposed LPP (Laser Probing Pad) to detect inner logic state by OBIC technique. The analysis technique using the LPP is a precise method that makes it easy to distinguish the logic state of advanced LSl with multi-metal layers and fine geometry layout. The LPP, being PN junction formed on silicon substrate(P-type), is connected to an arbitrary signal line. ELectron-hole pairs, generated by laser beam irradiated at LPP, are guided by line logic state and detected as photo-current. Experimental result denoted the photo-current with several dozen micron amperes by He-Ne laser (633nm at 1mW) irradiation at LPP with 2×2μm^2. The LPP brings under 0.01pF parasitic capacitance, being acceptable value. |
| キーワード(和) | LSI / レーザプロービングパッド / 論理 / 故障解析 / OBIC |
| キーワード(英) | LSI / LPP (Laser Probing Pad) / Logic / Failure Analysis / OBIC (Optical Beam Induced Current |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2003/1/23(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | レーザプロービングパッドの作り込みによるLSI内部動作解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Inner Logic Detection Technique of LSI with Laser Probing pad |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LSI / LSI |
| キーワード(2)（和/英） | レーザプロービングパッド / LPP (Laser Probing Pad) |
| キーワード(3)（和/英） | 論理 / Logic |
| キーワード(4)（和/英） | 故障解析 / Failure Analysis |
| キーワード(5)（和/英） | OBIC / OBIC (Optical Beam Induced Current |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 真田 克 / Masaru SANADA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NECエレクトロニクス(株)生産統括事業本部評価技術開発事業部 Manufacturing Operation Unit Analysis Technology Development Division NEC Electronics |
| 発表年月日 | 2003/1/23 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 622 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |