| 講演名 | 2003/1/23 ナノプローブ技術を応用した4深針プローバによる単体実デバイスの電気特性評価技術 柳田 博史, 水野 貴之, 矢野 史子, 梅村 馨, 三井 泰裕, |
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| 抄録(和) | 故障個所を特定するために従来から用いられている手法では,故障個所を十分絞り込むことが出来ない場合がある.故障が推定されるトランジスタやコンタクト抵抗などを直接測定することができれば,詳細な故障個所が分かり,SEMやTEM等の物理解析に持ち込むことができるが,光学顕微鏡下で針当てをする従来型のプローバでサブミクロンのデバイスを測定することは難しい.そこで,報告者らは,ナノプローブ技術を応用した4探針プローバ「ナノプローバ」を開発し,実用化している. |
| 抄録(英) | We have developed a new prober, "Nano-prober", which has four nano-probes and can inspect electrical characteristics of a device on actual circuits of LSI, e.g. a transistor and a contact via. This technique is very helpful to identify the exact location and the detailed origin of a failure. This report will show an outline of the "Nano-prober" and one examole of failure analysis by using it. |
| キーワード(和) | 探針 / ナノプローブ / ナノプローバ / 電気特性 / 不良解析 |
| キーワード(英) | prober / nano-probe / Nano-prober / electrical characteristics / failure analysis |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ICD |
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| 開催期間 | 2003/1/23(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Integrated Circuits and Devices (ICD) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ナノプローブ技術を応用した4深針プローバによる単体実デバイスの電気特性評価技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A new analytical technique with four nano-probes to inspect electrical characteristics of a device on actual circuits |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 探針 / prober |
| キーワード(2)（和/英） | ナノプローブ / nano-probe |
| キーワード(3)（和/英） | ナノプローバ / Nano-prober |
| キーワード(4)（和/英） | 電気特性 / electrical characteristics |
| キーワード(5)（和/英） | 不良解析 / failure analysis |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 柳田 博史 / Hiroshi YANAGITA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所半導体グループ Hitachi, Ltd., Semiconductor & Integrated Circuits |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 水野 貴之 / Takayuki MIZUNO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所半導体グループ Hitachi, Ltd., Semiconductor & Integrated Circuits |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 矢野 史子 / Fumiko YANO |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所半導体グループ Hitachi, Ltd., Semiconductor & Integrated Circuits |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 梅村 馨 / Kaoru UMEMURA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所中央研究所 Hitachi, Ltd., Central Research Laboratory |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 三井 泰裕 / Yasuhiro MITSUI |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)日立ハイテクノロジーズ Hitachi High-Technologies Corporation |
| 発表年月日 | 2003/1/23 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 622 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 2 |
| 発行日 | |