| 講演名 | 2004/1/23 MOVPE選択成長法を用いたInP系ピラー型2次元フォトニック結晶構造の作製と評価(量子効果デバイス及び関連技術) 稲荷 将, 竹田 潤一郎, 本久 順一, 福井 孝志, |
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| 抄録(和) | 近年注目を集めているフォトニック結晶は、光の波長程度の周期的な屈折率変調を有した人工構造物であり、フォトニックバンドギャップを利用することにより光を自由に制御することができる。2次元フォトニック結晶は、高いアスペクト比、平滑な表面、高い均一性が必要とされる。本研究では光通信用材料であるInP系の2次元フォトニック結晶の作製を目的として、InP(111)A及び(111)B基板上へのMOVPE選択成長法によりピラー型2次元フォトニック結晶構造の作製を行った。 |
| 抄録(英) | Photonic crystals (PCs) have received much attention as a new class of optical materials. PCs are modulated dielectric structures whose period is near the light wavelength, enabling us to control spontaneous emission and propagation of lightwaves using photonic band gaps. In particular, high aspect ratio, smooth surface, and high uniformity are required to achieve two-dimensional PCs (2DPCs). In this paper, we report on the fabrication of InP pillar structures on InP substrates by using selective area metal organic vapor phase epitaxy (SA-MOVPE) for application to InP-based 2DPCs. |
| キーワード(和) | MOVPE / InP / (111)A基板 / (111)B基板 / 2次元フォトニック結晶 |
| キーワード(英) | MOVPE / InP / (111)A / (111)B / Two dimensional Photonic Crystals |
| 資料番号 | SDM2003-221 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2004/1/23(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | MOVPE選択成長法を用いたInP系ピラー型2次元フォトニック結晶構造の作製と評価(量子効果デバイス及び関連技術) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of InP-based Two Dimensional Photonic Crystal Structures by Using Selective Area MOVPE |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | MOVPE / MOVPE |
| キーワード(2)（和/英） | InP / InP |
| キーワード(3)（和/英） | (111)A基板 / (111)A |
| キーワード(4)（和/英） | (111)B基板 / (111)B |
| キーワード(5)（和/英） | 2次元フォトニック結晶 / Two dimensional Photonic Crystals |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 稲荷 将 / Masaru INARI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター Research Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹田 潤一郎 / Junichiro TAKEDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター Research Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 本久 順一 / Junichi MOTOHISA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター Research Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 福井 孝志 / Takashi FUKUI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター Research Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido University |
| 発表年月日 | 2004/1/23 |
| 資料番号 | SDM2003-221 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 631 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |