| 講演名 | 2003/6/25 パターニングした金属触媒を用いたカーボンナノチューブの位置制御成長とFETの作製(AWAD2003 : 先端デバイスの基礎と応用に関するアジアワークショツプ) 水谷 孝, 大野 雄高, 岩附 伸也, 岸本 茂, 岡崎 俊也, 篠原 久典, |
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| 抄録(和) | SiO_2/Si基板上にパターニングした金属触媒を用いて熱CVD法によりカーボンナノチューブ(CNT)の位置制御成長を行うとともに、これを用いてナノチューブFETの作製を行った。触媒にはCoとPtの二層金属を用い、熱CVDの原料ガスにはエタノールとアルゴンの混合ガスを用いた。作製したCNT FET はp型伝導を示し、良好なピンチオフ特性を示した。 FETの歩留りは76%であった。また室温においてクーロン振動を観察した。 |
| 抄録(英) | Position-controlled Carbon nanotube field effect transistors (FETs) have been fabricated by using patterned metal catalysts and chemical vapor deposition. A double-layer metal of platinum and cobalt was used as the catalyst. Using a mixture of ethanol and argon as the source gas was effective in growing high-quality CNTs. FETs showed good I_D-V_ |
| キーワード(和) | カーボンナノチューブ / FET / 触媒パターニング / 位置制御 |
| キーワード(英) | Carbon Nanotube / FET / Patterned Catalyst / Position control |
| 資料番号 | ED2003-99,SDM2003-110 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2003/6/25(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | パターニングした金属触媒を用いたカーボンナノチューブの位置制御成長とFETの作製(AWAD2003 : 先端デバイスの基礎と応用に関するアジアワークショツプ) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Carbon Nanotube FETs Fabricated on Patterned Metal Catalyst for Position Control(AWAD2003 : Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | カーボンナノチューブ / Carbon Nanotube |
| キーワード(2)（和/英） | FET / FET |
| キーワード(3)（和/英） | 触媒パターニング / Patterned Catalyst |
| キーワード(4)（和/英） | 位置制御 / Position control |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 水谷 孝 / Takashi Mizutani |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Department of Quantum Engineering, Nagoya University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大野 雄高 / Yutaka Ohno |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Department of Quantum Engineering, Nagoya University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岩附 伸也 / Shinya Iwatsuki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Department of Quantum Engineering, Nagoya University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岸本 茂 / Shigeru Kishimoto |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋大学工学研究科 Department of Quantum Engineering, Nagoya University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 岡崎 俊也 / Toshinari Okazaki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 名古屋大学理学研究科 R&D Division, Department of Chemistry, Nagoya University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 篠原 久典 / Hisanori Shinohara |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 名古屋大学理学研究科 R&D Division, Department of Chemistry, Nagoya University |
| 発表年月日 | 2003/6/25 |
| 資料番号 | ED2003-99,SDM2003-110 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 164 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
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