講演名 2003/6/25
Effects of thermal annealing on optical and structural properties of 1.3μm digital-alloy InGaAlAs MQW(AWAD2003 : Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices)
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抄録(和)
抄録(英) Effect of rapid thermal annealing on optical and structural properties of 1.3μm digital-alloy InGaAlAs MQW structure was studied with 300 K-PL, transmission electron microscopy, and scanning tunneling microscopy. 300K-PL peak intensity increases abruptly above the annealing temperature (T_) of 625℃. Above T_> 800℃, 300K-PL spectrum shows decease of PL intensity and slight blue-shift. The curing and degradation process of digital-alloy MQWs are investigated in the view of congruent sublimation temperature.
キーワード(和)
キーワード(英) InGaAlAs / Digital-alloy / MBE / Thermal annealing / Curing / Lateral composition modulation
資料番号 ED2003-95,SDM2003-106
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 2003/6/25(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Effects of thermal annealing on optical and structural properties of 1.3μm digital-alloy InGaAlAs MQW(AWAD2003 : Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices)
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) / InGaAlAs
第 1 著者 氏名(和/英) / J. D. SONG
第 1 著者 所属(和/英)
Nano-device Research Center, Korea Institute of Science and Technology
発表年月日 2003/6/25
資料番号 ED2003-95,SDM2003-106
巻番号(vol) vol.103
号番号(no) 164
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日