| 講演名 | 2004/4/16 空気クラッド埋め込み超高屈折率差光導波路の製作と積層マイクロリング共振器の微小化(光部品の実装,信頼性) 尾形 真史, 依田 幸英, 國分 泰雄, |
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| 抄録(和) | 本研究室では,超高屈折率差光導波路(HIC)を用いたマイクロリング共振器の高密度集積化ための製作技術として,バイアススパッタ成膜を利用した平坦化埋め込み技術を昨年度に開発していた.しかし,この方法ではコアをSiO_2などで完全に埋め込んでしまうため,コアとクラッドの屈折率差が小さくなり,マイクロリング共振器の放射損失が大きくなる問題があった.そこで本研究では,空気(真空)クラッド埋め込み構造を提案し,RFスパッタ成膜を用いてこの構造を簡単に実現するプロセスを開発した.この技術を用いて側方に空気クラッドを埋め込んだ積層マイクロリング共振器を製作したところ,リング半径5μmの素子から明瞭な共振スペクトルを観測し,FSR=31nmを実現した.また,従来のSiO_2で埋め込んだ構造と本研究の空気(真空)クラッドを側方に設けた埋め込み構造の両方を用いて,同じリング半径のマイクロリング共振器フィルタを製作して特性を比較したところ,本研究の素子は従来型に比べて狭帯域でスルーポート特性の阻止量も大きい良好な特性が得られた.この特性から共振器内損失を見積もったところ,本研究の素子では損失が10分の1に低減されたことが確認できた. |
| 抄録(英) | To realize a densely integrated optical circuit, we have developed a process to bury high index contrast waveguides with perfectly flat upper cladding. In this process, however, their radiation loss of microring resonator increases due to the decrease of index contrast. To solve this problem, in this study we propose a buried air (vacuum) structure and develop the process to realize this structure using RF sputtering deposition. We fabricated some microring resonators using this process and successfully observed a clear filter response by the device with the ring radius of 5μm In addition, we fabricated two different types of structures, one is buried by SiO_2 cladding and the other has buried air (vacuum) cladding structure, and compared the filter responses. Then a narrow bandwidth of drop port response and a deep drop of through port response were observed by the device with buried air (vacuum) cladding structure, and the propagation loss in the microring was evaluated to be reduced to one tenth of that of the conventional buried structure. |
| キーワード(和) | 光導波路 / 超高屈折率差 / マイクロリング共振器 / 埋め込み導波路 / 高密度集積化 |
| キーワード(英) | Optical waveguide / High index contrast / Microring resonator / Buried waveguide / Dense integration |
| 資料番号 | R2004-3,CPM2004-3,OPE2004-3 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | R |
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| 開催期間 | 2004/4/16(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Reliability(R) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 空気クラッド埋め込み超高屈折率差光導波路の製作と積層マイクロリング共振器の微小化(光部品の実装,信頼性) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of high index contrast waveguide with buried air cladding and miniaturization of microring resonator |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光導波路 / Optical waveguide |
| キーワード(2)（和/英） | 超高屈折率差 / High index contrast |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロリング共振器 / Microring resonator |
| キーワード(4)（和/英） | 埋め込み導波路 / Buried waveguide |
| キーワード(5)（和/英） | 高密度集積化 / Dense integration |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 尾形 真史 / Masashi OGATA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻 Graduate School of Engineering, Yokohama National University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 依田 幸英 / Hideyuki YODA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻 Graduate School of Engineering, Yokohama National University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 國分 泰雄 / Yasuo KOKUBUN |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学大学院工学府物理情報工学専攻 Graduate School of Engineering, Yokohama National University |
| 発表年月日 | 2004/4/16 |
| 資料番号 | R2004-3,CPM2004-3,OPE2004-3 |
| 巻番号（vol） | vol.104 |
| 号番号（no） | 26 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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