| 講演名 | 2003/6/19 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般) 年吉 洋, 角嶋 邦之, 藤田 博之, |
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| 抄録(和) | マイクロマシン(Micro Electro Mechanical Systems, MEMS)技術により製作した微小な機械構造を,スイッ チ,周波数フィルタ,可変容量等の高周波デバイスに応用した研究について,マイクロマシンの製作法,駆動方法などの基本的技術を交えつつ紹介する. |
| 抄録(英) | This paper deals with readio-frequency applications of micromachines (Micro Electro Mechanical Systems, MEMS) such as switches, frequency filters, and variable capacitors. |
| キーワード(和) | RF-MEMS / マイクロマシン / マイクロアクチュエータ |
| キーワード(英) | RF-MEMS / Micromachine / Micro actuator |
| 資料番号 | CAS2003-14,VLD2003-24,DSP2003-44 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CAS |
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| 開催期間 | 2003/6/19(から1日開催) |
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| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Circuits and Systems (CAS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 〔招待論文〕MEMS技術の高周波デバイス応用(信号処理, LSI, 及び一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Invited MEMS Technology for High-Frequency Device Applications |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | RF-MEMS / RF-MEMS |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロマシン / Micromachine |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロアクチュエータ / Micro actuator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 年吉 洋 / Hiroshi Toshiyoshi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 角嶋 邦之 / Kuniyuki Kakushima |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤田 博之 / Hiroyuki Fujita |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター Institute of Industrial Science, University of Tokyo |
| 発表年月日 | 2003/6/19 |
| 資料番号 | CAS2003-14,VLD2003-24,DSP2003-44 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 142 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |