講演名 2004/1/9
実験計画法を用いた垂直磁気記録媒体の磁気特性の解析(画像記録装置及び一般)
神田 哲典, 矢野 亮, 山中 英明, 小沼 剛, 松沼 悟,
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抄録(和) 実験計画法を用いて垂直磁気記録媒体のCo/Pd多層膜の試料を作製し,その磁気特性解析を行った.本実験範囲では,記録層とシード層に添加するB濃度や成膜時のガス流量等の微細組織に影響する因子によって磁気特性が変化することが明らかになった.さらに,保磁力と記録層のfcc-Pd(111)面間隔に強い相関があった.X線光電子分光法を用いて膜厚方向の元素分析から,シード層から記録層にかけてBの濃度勾配が形成されていることがPd(111)面間隔を変化させる一要因であることがわかった.実験結果より各因子を最適化した試料の磁気特性は,分散分析に基づいて計算された予想値と良い一致を示した.
抄録(英) Design of Experiment (DOE) was used to analyze the magnetic properties of the Co/Pd multi layer in perpendicular recording media. The result shows that the B concentration in the recording and the seed layers plays an important role in the media. The X ray diffraction results show a strong interaction between the coercivity and the fcc-pd (111) plane spacing. An optimized sample based on the experimental results shows good agreement with the estimated magnetic properties from DOE.
キーワード(和) 垂直磁気記録媒体 / Co/Pd多層膜 / 実験計画法 / PdBシード層
キーワード(英) Perpendicular recording media / Co-Pd multi layer / Design of Experiment / PdB seed layer
資料番号 MR2003-47
発行日

研究会情報
研究会 MR
開催期間 2004/1/9(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Magnetic Recording (MR)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 実験計画法を用いた垂直磁気記録媒体の磁気特性の解析(画像記録装置及び一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Magnetic Property Analysis of Perpendicular Recording Media Based on Design of Experiment
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 垂直磁気記録媒体 / Perpendicular recording media
キーワード(2)(和/英) Co/Pd多層膜 / Co-Pd multi layer
キーワード(3)(和/英) 実験計画法 / Design of Experiment
キーワード(4)(和/英) PdBシード層 / PdB seed layer
第 1 著者 氏名(和/英) 神田 哲典 / Tetsunori Koda
第 1 著者 所属(和/英) 日立マクセル開発本部
Development & Technology Division, Hitachi Maxell
第 2 著者 氏名(和/英) 矢野 亮 / Akira Yano
第 2 著者 所属(和/英) 日立マクセル開発本部
Development & Technology Division, Hitachi Maxell
第 3 著者 氏名(和/英) 山中 英明 / Hideaki Yamanaka
第 3 著者 所属(和/英) 日立マクセル開発本部
Development & Technology Division, Hitachi Maxell
第 4 著者 氏名(和/英) 小沼 剛 / Tsuyoshi Onuma
第 4 著者 所属(和/英) 日立マクセル開発本部
Development & Technology Division, Hitachi Maxell
第 5 著者 氏名(和/英) 松沼 悟 / Satoshi Matsunuma
第 5 著者 所属(和/英) 日立マクセル開発本部
Development & Technology Division, Hitachi Maxell
発表年月日 2004/1/9
資料番号 MR2003-47
巻番号(vol) vol.103
号番号(no) 555
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日