| 講演名 | 2004/3/9 DAM構造による低コストRFMEMS/RFマイクロマシンデバイス(特別ワークショップ「RFマイクロエレクトロニクス」) 西野 有, 吉田 幸久, 李 相錫, 宮口 賢一, 高本 直, |
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| 抄録(和) | 誘電体薄膜とメタライズされた基板上の微小キャビティで構成される中空構造を用いて低損失線路,集中定数線路およびMEMSスイツチを試作および評価を行い,その有効性を示した。 |
| 抄録(英) | Low-loss transmission lines, lumped-element circuits and MEMS switches were developed by using the hollow structure composed of metallized small cavity on the silicon and thin dielectric film. |
| キーワード(和) | 高周波 / マイクロ波 / マイクロマシン / MEMS / シリコン |
| キーワード(英) | RF / Microwave / Micromachine / MEMS / Silicon |
| 資料番号 | ED2003-240 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2004/3/9(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | DAM構造による低コストRFMEMS/RFマイクロマシンデバイス(特別ワークショップ「RFマイクロエレクトロニクス」) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low-Cost RF-MEMS/RF-Micromachined Devices on the DAM Structure (Electron Devices) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 高周波 / RF |
| キーワード(2)（和/英） | マイクロ波 / Microwave |
| キーワード(3)（和/英） | マイクロマシン / Micromachine |
| キーワード(4)（和/英） | MEMS / MEMS |
| キーワード(5)（和/英） | シリコン / Silicon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 西野 有 / Tamotsu Nishino |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 三菱電機情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 吉田 幸久 / Yukihisa Yoshida |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 三菱電機先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 李 相錫 / Sang-Seok Lee |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 三菱電機先端技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 宮口 賢一 / Ken-ichi Miyaguchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 三菱電機情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 高本 直 / Tadashi Takagi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 三菱電機情報技術総合研究所 Mitsubishi Electric Co. |
| 発表年月日 | 2004/3/9 |
| 資料番号 | ED2003-240 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 728 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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