講演名 2003/8/26
導電性高分子ショットキーダイオードの新規作製法(センサデバイス・MEMS・一般)
多田 和也, 小野田 光宣,
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抄録(和) 導電性高分子の自立膜上への新規電極作製方法として我々が提案している、剥離転写法(Peeling-off transfer)について述べる。この方法により、高分子膜を反転させること無く膜の両面に電極が取り付けられるようになり、また上下電極間の位置合わせも容易となる。ポリ(3-ヘキシルチオフェン)を用いて試作したショットキーダイオードにおいては、高分子膜上に直接真空蒸着した場合と、本質的には同様な特性が得られた。今回は導電性高分子を用いた結果について報告するが、本方法は適当な表面的、機械的性質を持つ半導体膜であれば、材料によらず適用可能と考えられる。
抄録(英) Here, we describe a novel method for electrode deposition onto a free-standing film of conjugated polymer, the peeling-off transfer technique, proposed by us. This method enables not only making double-sided electrodes structures without film flipping, but also simplifying the positioning between upper and lower electrodes. The electrodes in Schottky diodes from poly(3-hexylthiophene) made through this technique show essentially identical characteristics to those made through direct vacuum evaporation. Although we checked this idea with conducting polymer here, this technique may be applicable to any other semiconducting materials with appropriate surface and mechanical properties.
キーワード(和) 導電性高分子 / ショットキーダイオード / 電極作製法 / 自立膜 / 剥離転写法
キーワード(英) Conducting polymer / Schottky diode / electrode deposition / free-standing film / peeling-off transfer
資料番号 ED2003-121
発行日

研究会情報
研究会 ED
開催期間 2003/8/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electron Devices (ED)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 導電性高分子ショットキーダイオードの新規作製法(センサデバイス・MEMS・一般)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Novel Fabrication Technique for Schottky Diodes Using Conducting Polymer
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 導電性高分子 / Conducting polymer
キーワード(2)(和/英) ショットキーダイオード / Schottky diode
キーワード(3)(和/英) 電極作製法 / electrode deposition
キーワード(4)(和/英) 自立膜 / free-standing film
キーワード(5)(和/英) 剥離転写法 / peeling-off transfer
第 1 著者 氏名(和/英) 多田 和也 / Kazuya TADA
第 1 著者 所属(和/英) 姫路工業大学大学院工学研究科
Graduate School of Engineering, Himeji Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 小野田 光宣 / Mistusyoshi ONODA
第 2 著者 所属(和/英) 姫路工業大学大学院工学研究科
Graduate School of Engineering, Himeji Institute of Technology
発表年月日 2003/8/26
資料番号 ED2003-121
巻番号(vol) vol.103
号番号(no) 283
ページ範囲 pp.-
ページ数 4
発行日