| 講演名 | 2003/8/26 [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス・MEMS・一般) 江刺 正喜, 小野 崇人, ファン ミン ゴ, |
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| 抄録(和) | MEMS(微小電気機械システム)やNEMS(ナノ電気機械システム)が半導体微細加工を発展させたマイクロマシニングやナノマシニング技術で製作できる。シリコンのリング回転子が静電的に浮上して毎分12,000回転で回り、高性能な回転ジャイロとして使えるものがMEMSで開発された。マルチプローブのデータ記録装置やマルチ鏡筒電子ビーム露光装置のような配列構造のシステムを開発している。マルチプローブデータ記録装置のためにパターンドメディアを作るためのナノモールディングやモノリシック6軸ステージの開発も行った。厚さ数十nmのシリコン梁を用いて高感度なセンサを製作でき、カーボンナノチューブの水素吸蔵の測定、あるいは容量型原子間力顕微鏡と走査型近接場光顕微鏡として同時に使えるプローブなどがマイクロナノマシニングで製作された。 |
| 抄録(英) | MEMS (Micro ElectroMechanical Systems) and NEMS (Nano ElectroMechanical Systems) have been fabricated using advanced micromachining and nanomachining technologies. Sophisticated MEMS device used as a two-axis rotating gyroscope for navigation control systems was developed. A silicon ring rotor is electrostatically levitated and rotated at 12,000rpm. Arrayed systems as multiprobe data storage and multicolumn electron beam lithography system have been developed. Nano-molding for patterned media and monolithic 6-axis stage have been also developed for the arrayed system. Thin silicon cantilever can be used for highly sensitive sensors. Resonating sensors to measure the hydrogen storage capacity of carbon nano tube and nano probes for AFM and NSOM have been developed based on the micro-nanomachining. |
| キーワード(和) | マイクロマシニング / ナノマシニング / MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) / NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) |
| キーワード(英) | Micromachining / Nanomachining / MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) / NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) |
| 資料番号 | ED2003-120 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2003/8/26(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | [招待論文]マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS(センサデバイス・MEMS・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited] MEMS/NEMS by Micro・Nanomachining |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | マイクロマシニング / Micromachining |
| キーワード(2)（和/英） | ナノマシニング / Nanomachining |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) / MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) |
| キーワード(4)（和/英） | NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) / NEMS (Nano Electro Mechanical Systems) |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 江刺 正喜 / Masayoshi ESASHI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学未来科学技術共同研究センター New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小野 崇人 / Takahito ONO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | ファン ミン ゴ / Minh Ngoc PHAN |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2003/8/26 |
| 資料番号 | ED2003-120 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 283 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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