| 講演名 | 2003/8/26 ナノギャップ電極の簡易作製法と有機FETへの応用(センサデバイス・MEMS・一般) 八尋 正幸, 石田 謙司, 松重 和美, |
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| 抄録(和) | 有機電界効果トランジスタ(OFET)に用いるナノギャップ電極の簡易な作製法を提案し、ナノギャップ電極を試作した。ギャップ250nmの櫛形電極パターンの作製に成功し、短絡なく十分な絶縁が確認された。また、作製できた最も短いチャネル長は70nmであった。金またはマグネシウム-銀合金をソース-ドレイン電極に用いたナノギャップ電極基板上にペンタセンと銅フタロシアニンを製膜しOFET評価を行った結果、ミクロンチャネルのOFETと同程度のId-vd特性を観測した。 |
| 抄録(英) | In order to characterize or-ganic field effect transistors in nano-scale, we fabricated nano-gap electrodes with nano channel length by wet etching process. The fabricated channel length depended on the etching conditions, and the minimum length currently fabricated was about 70 nm. The resistance of nano-gap comb type electrodes with 250 nm channel length and 30 pars was 7. 5TΩ. Then, the nano-gap electrodes were applied to organic FET as source-drain electrodes and characteristics were measured. The Id-Vd characteristics of the similar value as OFET with micron channel were observed. |
| キーワード(和) | ナノギャツプ電極 / 異種金属電極 / 有機FET |
| キーワード(英) | nano-eao electrode / comb type electrode with different metals / organic field effect transistor |
| 資料番号 | ED2003-119 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2003/8/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ナノギャップ電極の簡易作製法と有機FETへの応用(センサデバイス・MEMS・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Simple fabrication of nano-gap electrodes and application for organic field effect transistors |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ナノギャツプ電極 / nano-eao electrode |
| キーワード(2)（和/英） | 異種金属電極 / comb type electrode with different metals |
| キーワード(3)（和/英） | 有機FET / organic field effect transistor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 八尋 正幸 / Masayuki YAHIRO |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 京都大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー Venture Business Laboratory, Kyoto University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 石田 謙司 / Kenji ISHIDA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 京都大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー:京都大学大学院工学研究科 Venture Business Laboratory, Kyoto University:Department of Electronic Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松重 和美 / Kazumi MATSUSHIGE |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 京都大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー:京都大学大学院工学研究科 Venture Business Laboratory, Kyoto University:Department of Electronic Science and Engineering, Graduate School of Engineering, Kyoto University |
| 発表年月日 | 2003/8/26 |
| 資料番号 | ED2003-119 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 283 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |