| 講演名 | 2003/8/26 真空蒸着されたポリジメチルシラン薄膜の光物性の作製条件依存性(センサデバイス・MEMS・一般) 大多 英隆, 高本 智基, 安田 敬, 古川 昌司, |
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| 抄録(和) | 有機ポリシランは、興味深い光物性を示す。これは、主鎖のSi-Si結合を構成するσ-共役電子によるものである。そのため、有機ELなどに応用する研究が進められている。ポリジメチルシランは有機ポリシランの一種である。我々は、ポリジメチルシランを真空蒸着することで薄膜を作製した。これまで、蒸着時の圧力を変化させることで、配向制御に成功した。本研究では、蒸着圧力を8×10^<-5>～9×10^<-5>[Torr]とし、基板温度を変化させ成膜を行った。作製された薄膜について、X線回折パターン、可視紫外域光吸収特性を測定した。その結果、可視紫外域光吸収特性に関して興味深いデータが得られた。 |
| 抄録(英) | Organopolysilanes have unique optical property due to their σ-conjugated electrons. Therefore, organopolysilanes are expected to be used for future electro-luminescent devices. Poly(di-methyl silane) is the most fundamental polymer among organopolysilanes. Poly(di-methyl silane) thin films have been prepared by vacuum evaporation technique. In the previous study, we have found that the orientation of poly(di-methyl silane)-evaporated thin film is controlled by changing evaporation pressure. In this study, poly(di-methyl silane) thin films have been prepared using vacuum evaporation method with an evaporation pressure of 8×10^<-5>～9×10^<-5>[Torr]. The temperature of the substrate was also varied. After the preparation, we obtained X-ray diffraction patterns as well as UV-VIS absorption spectra. We have also measured UV-VIS absorption spectra as a function of time. |
| キーワード(和) | 有機ポリシラン / ポリジメチルシラン / 真空蒸着 / 光物性 |
| キーワード(英) | Organopolysilane / Poly(di-methyl silane) / Vacuum Evaporation Method / Optical Properties |
| 資料番号 | ED2003-118 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2003/8/26(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 真空蒸着されたポリジメチルシラン薄膜の光物性の作製条件依存性(センサデバイス・MEMS・一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Relation between Optical Properties and Preparation Condition of Vacuum- Evaporated Poly(di-methyl silane ) Thin Film |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 有機ポリシラン / Organopolysilane |
| キーワード(2)（和/英） | ポリジメチルシラン / Poly(di-methyl silane) |
| キーワード(3)（和/英） | 真空蒸着 / Vacuum Evaporation Method |
| キーワード(4)（和/英） | 光物性 / Optical Properties |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大多 英隆 / Hidetaka OHTA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州工業大学大学院情報工学研究科:CREST科学技術振興事業団 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology:CREST Japan Science and Technology Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高本 智基 / Tomoki TAKAMOTO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州工業大学大学院情報工学研究科:CREST科学技術振興事業団 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology:CREST Japan Science and Technology Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 安田 敬 / Takashi YASUDA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州工業大学大学院情報工学研究科:CREST科学技術振興事業団 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology:CREST Japan Science and Technology Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 古川 昌司 / Shoji FURUKAWA |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 九州工業大学大学院情報工学研究科:CREST科学技術振興事業団 Graduate School of Computer Science and Systems Engineering, Kyushu Institute of Technology:CREST Japan Science and Technology Corporation |
| 発表年月日 | 2003/8/26 |
| 資料番号 | ED2003-118 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 283 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |