| 講演名 | 2003/6/23 Fabrication of low loss transmission line with Surface micromachining technology (AWAD2003 (Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices)) , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | In this paper, we fabricated the low-loss transmission line of air-bridge form using the surface micromachining (SMM). Proposed structure used the polyimide dielectric posts between the signal line and ground to obtain the low-loss and the wide characteristic impedance range in millimeter waves. The whole length of fabricated transmission line is 2 mm, and post size is 10 × 10 μm^2, and we fabricated the signal line with 7 μm and 10 μm height to compare the characteristics by signal line height change from substrate. From the fabricated DAML's results of measurements, we obtained 2.2 dB/cm attenuation in the 7 μm height DAML and 1.5 dB/cm attenuation in the 10 μm height DAML up to 50 GHz. Then the change of characteristic impedance showed 100-20 ohms, 115-27 ohm, respectively. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | Surface micromachining / Microstrip line / air-bridge |
| 資料番号 | ED2003-66,SDM2003-77 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2003/6/23(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electron Devices (ED) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of low loss transmission line with Surface micromachining technology (AWAD2003 (Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices)) |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / Surface micromachining |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Han-Shin Lee |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Millimeter-wave INnovation Technology research center (MINT), Dongguk University |
| 発表年月日 | 2003/6/23 |
| 資料番号 | ED2003-66,SDM2003-77 |
| 巻番号（vol） | vol.103 |
| 号番号（no） | 159 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |